RS.Speed - высокоскоростные поворотные пьезопозиционеры

RS.Speed - серия высокоскоростных поворотных пьезопозиционеров с непрерывным вращением 360°.
  • Размеры: 65 × 65 × 25 / 105 × 135 × 25 мм.
  • Режим обратной связи, оптический энкодер.
  • Разрешение: 1 мкрад.
  • Минимальный размер шага: от 0,75 мкрад.
  • Совместимость с контроллером MC-Newton.S.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры RS.Speed поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. В случае управления высоковольтным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 15 мкрад для модели RS65.Speed и 0,75 мкрад для модели RS105.Speed. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFields в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.

Параметр Значение   Ед. Измерения  
Модель RS65.Speed RS105.Speed  
Исполнение


Стандартное1  
.HV2  
.UHV3  
.NM4  
Размеры (Ш х Д х В) 65 × 65 × 25 105 × 135 × 25 мм
Материал корпуса
(стандартное, .NM)
Алюминиевый сплав
 
Материал корпуса
(.HV, .UHV)
Титан  
Масса
(стандартное, .NM)
330 г
Масса
(.HV, .UHV)
360 г
Диапазон перемещения 360° непрерывное °
Скорость (рекомендуемая / макс.) 60 / 720 60 / 720 °/с
Минимальный шаг 15 0,75 мкрад
Максимальная нагрузка 2 5 кг
Номинальный вращающий момент 0,5 0,4 Н·м
Максимальный вращающий момент 0,8 0,6 Н·м
Удерживающий момент 0,8 0,6 Н·м
Датчик положения    
Тип датчика Оптический энкодер  
Разрешение датчика 1 1 мкрад
Кабель / Разъем Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: Kapton, PEEK D-Sub 15
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение (алюминиевый сплав).

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
RS65.Speed Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 25 мм. Нагрузка до 2 кг, вращающий момент 0,5 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
RS65.Speed.HV Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 25 мм. Нагрузка до 2 кг, вращающий момент 0,5 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
RS65.Speed.UHV Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 25 мм. Нагрузка до 2 кг, вращающий момент 0,5 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
RS65.Speed.NM Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 25 мм. Нагрузка до 2 кг, вращающий момент 0,5 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Полностью немагнитное исполнение.
RS105.Speed Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 105 × 135 × 25 мм. Нагрузка до 5 кг, вращающий момент 0,4 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
RS105.Speed.HV Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 105 × 135 × 25 мм. Нагрузка до 5 кг, вращающий момент 0,4 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
RS105.Speed.UHV Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 105 × 135 × 25 мм. Нагрузка до 5 кг, вращающий момент 0,4 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
RS105.Speed.NM Высокоскоростной поворотный пьезопозиционер. Размеры 105 × 135 × 25 мм. Нагрузка до 5 кг, вращающий момент 0,4 Н·м. Диапазон перемещения 360° (непрерывное вращение). Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 1 мкрад. Полностью немагнитное исполнение.
Назад к разделу

Мой заказ