Linear25-z-LR - подъемные пьезоплатформы

Linear25-z-LR - серия пьезоплатформ, обеспечивающих движение по оси Z с большим диапазоном перемещения и низкими помехами в направлении XY.
  • Размеры платформы 25 × 25 × 29,6 мм.
  • Совместимы со сверхвысоким вакуумом до 2 E-11 мбар.
  • Выдерживают очень низкие температуры до 30 мК.
  • Сделаны из немагнитного композита Ti & BeCu.
  • Совместимы с магнитным полем 35 Тл.
  • Управление с обратной связью с разрешением 150 нм.
  • Нагрузка & тяга до 300 г & 3 Н.
  • Перемещение до 16 мм.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы Linear25-z-LR поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение Ед.измерения
Исполнение
.HV* (стандартное) .ULT**   .UHV*** .ULT.UHV****
Размеры платформы
25 × 25 × 29,6 мм
Масса
40 г
Условия окружающей среды
Температурный диапазон
1,4 - 400 К
Совместимость с вакуумом
1,00E-07 мбар
Максимальная магнитная индукция
35 Тл
Опция 1 - 30 мК
да да
Опция 2 - 2 Е-11 мбар
да да
Материалы
Корпус
Ti BeCu Ti BeCu
Провода
Витые спаренные провода из люминофорной бронзы, 20 см
Материал пинов
Стеклонаполненный полимер,
BeCu
Peek, BeCu
Количество пинов
Привод - 2/4, датчик - 3 шт.
Движение без обратной связи -
одноступенчатый режим и режим точной настройки
Разрешение точной настройки при Т=2 К
суб - нм
Минимальный размер шага при Т=300 К
~ 10 нм
Движение с обратной связью
Диапазон перемещения
16 мм
Максимальная скорость при Т=300 К
~ 2 мм/с
Максимальная нагрузка
300 г
Динамическая сила
3 Н
Датчик положения (режим обратной связи)
Тип энкодера
резистивный
Диапазон энкодера
16 мм
Разрешение энкодера
~150 нм
Повторяемость
1 - 2 мкм
*.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар.
**.ULT- низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар.
***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар.
****.ULT.UHV - низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.
  • Измерение диэлектрических/сегнетоэлектрических свойств, коэффициента магнитоэлектрической связи, теплопередачи, коэффициента термоЭДС, FMR (ферромагнитный резонанс).







Модель Описание
Linear25-z-LR.HV Подъемная пьезоплатформа. Размеры платформы 25 × 25 × 29,6 мм. Высокая нагрузка & тяга до 300 г & 3 Н. Перемещение до 16 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Стандартное исполнение: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
Linear25-z-LR.ULT Подъемная пьезоплатформа. Размеры платформы 25 × 25 × 29,6 мм. Высокая нагрузка & тяга до 300 г & 3 Н. Перемещение до 16 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
Linear25-z-LR.UHV Подъемная пьезоплатформа. Размеры платформы 25 × 25 × 29,6 мм. Высокая нагрузка & тяга до 300 г & 3 Н. Перемещение до 16 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
Linear25-z-LR.ULT.UHV Подъемная пьезоплатформа. Размеры платформы 25 × 25 × 29,6 мм. Высокая нагрузка & тяга до 300 г & 3 Н. Перемещение до 16 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
Назад к разделу

Мой заказ