ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные вертикальные пьезопозиционерыLS80z.Lab - вертикальные пьезопозиционеры
LS80z.Lab - вертикальные пьезопозиционеры
LS80z.Lab - серия подъемных платформ для комнатной температуры, осуществляющих движение по оси Z.
- Размеры: 80 × 80 × 40 мм.
- Собственная частота: 20 кГц.
- Разрешение: 2 нм.
- Минимальный размер шага: 10 нм.
- Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Пьезоплатформы LS80z.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.
Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастотным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Параметр | Значение | Ед.измерения | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Исполнение | Стандартное | .NM* | .HV** | .UHV*** | ||
Параметры
|
80 × 80 × 40 | мм | ||||
Материал корпуса
|
Алюминий, нержавеющая сталь, керамика | |||||
Диапазон перемещения
|
10 | мм | ||||
Собственная частота
|
20 | кГц | ||||
Кабели и разъемы
|
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: kapton, PEEK D-Sub 15 |
|||||
Параметры движения для
рекомендуемой установки |
||||||
Максимальная скорость
|
~ 3 | мм/с | ||||
Минимальный шаг
(режим с обратной связью) |
10 | нм | ||||
Удерживающая сила | 10 | Н | ||||
Максимальная нагрузка
|
1 | кг | ||||
Параметры датчика | ||||||
Тип датчика
|
Оптический | |||||
Разрешение датчика
|
2 | нм | ||||
*.NM - немагнитное исполнение. **.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар. ***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
LS80z.Lab - вертикальные пьезопозиционеры 819.03(Kб)