E-ABT-XY-360X360 - двухосевые позиционеры с воздушными подшипниками

E-ABT-XY-360X360 - серия двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками.
  • Перемещение по осям XY 360 мм.
  • Точность позиционирования до ±0,3 мкм.
  • Максимальная скорость 500 мм/с.
  • Максимальная нагрузка 50 кг.
  • Два исполнения: гранитно-металлическое и керамическое.

E-ABT-XY-360X360 - серия двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками. Платформа обеспечивает перемещение по осям X и Y и обладает высокой грузоподъемностью: максимальная масса нагрузки составляет 50 кг. Транслятор имеет два исполнения: гранитно-металлическое и керамическое. В керамической версии в качестве воздушной структуры и направляющих элементов используется оксид алюминия высокой чистоты. По сравнению с гранитом и металлом, керамика из оксида алюминия обладает меньшим коэффициентом расширения и более высокими значениями таких параметров, как прямолинейность, прочность и износостойкость. Транслятор подходит для сканирования или высокоточного позиционирования.

Особенности: 
  • Одновременное позиционирование по осям X и Y.
  • Два исполнения: гранито-металлическое и керамическое.
  • Трехфазный двигатель с железным сердечником.
  • Точность позиционирования до ±0,3 мкм.
  • Высокая износостойкость, прямолинейность и прочность.
  • Совместимость с чистыми помещениями.
  • Инкрементальный или абсолютный энкодер.

 Параметр Значение Ед. измерения 
Модель
E-ABT-XY-360X360-CO E-ABT-XY-360X360-CE
 
Материал
Гранит и металл Алюмооксидная керамика
 
Тип двигателя
Трехфазный двигатель с железным сердечником -
Разрешение оптического энкодера
sincos 4,88 нм
(более высокие разрешения доступны опционально)
-
Тяга двигателя по оси X
Непрерывная
90
Н
Пиковая
315 Н
Тяга двигателя по оси Y
Непрерывная
219*2 Н
Пиковая
750*2 Н
Ускорение холостого хода по верхней оси
4,5G g
Ускорение холостого хода на нижней оси
3G g
Минимальная длина шага
(NanoPWM или линейный привод)
10 нм
Перемещение
360×360
мм
Точность повторного позиционирования
±0,15
±0,1
мкм
Точность позиционирования
±0,5
±0,3
мкм
Плоскостность
±1 ±0,5 мкм
Прямолинейность
1,5 1 мкм
Максимальная скорость
500 мм/с
Максимальная нагрузка
50 кг

  • Научные исследования в области метрологии.
  • Контроль изготовления полупроводниковых устройств и дисплеев.
  • Оптическая связь.
  • Лазерные системы.
  • Биомедицинские исследования.
  • Прецизионное сканирование поверхностей.
  • Высокоточная фотоника.

Модель Описание
E-ABT-XY-360X360-CO Двухосевой позиционер с воздушными подшипниками. Материал: гранит и металл. Перемещение по осям XY 360×360 мм. Точность позиционирования ±0,5 мкм. Максимальная скорость 500 мм/с. Максимальная нагрузка 50 кг.
E-ABT-XY-360X360-CE Двухосевой позиционер с воздушными подшипниками. Материал: керамика. Перемещение по осям XY 360×360 мм. Точность позиционирования ±0,3 мкм. Максимальная скорость 500 мм/с. Максимальная нагрузка 50 кг.
Назад к разделу

Мой заказ