E-CPA-XY - двухосевые позиционеры с воздушными подшипниками

E-CPA-XY - серия вакуумных двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками.
  • Перемещение по осям XY до 400 мм.
  • Точность позиционирования до ±0,3 мкм.
  • Максимальная скорость 500 мм/с.
  • Максимальная нагрузка 30 кг.

E-CPA-XY - серия вакуумных двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками, предназначенных для позиционирования и перемещения объектов вдоль осей X и Y. Платформа обладает высокой грузоподъемностью: максимальная масса нагрузки составляет 30 кг. Для стабильной и надежной работы транслятор оснащен трехфазным двигателем с железным сердечником. Платформа может совершать перемещение с точностью до ±0,3 мкм. Для обеспечения передвижения по оси X транслятор оснащен керамической балкой из оксида алюминия. По сравнению с мраморными балками, керамические характеризуются большей точностью, стабильностью и износостойкостью.

Особенности: 
  • Одновременное позиционирование по осям X и Y.
  • Две конфигурации с перемещением по осям X и Y 300 мм и 400 мм.
  • Трехфазный двигатель с железным сердечником.
  • Точность позиционирования до ±0,3 мкм.
  • Высокая износостойкость.

 Параметр Значение Ед. измерения 
Модель
E-CPA-XY-300X300 E-CPA-XY-400X400
 
Тип двигателя
Трехфазный двигатель с железным сердечником -
Разрешение решетки
1 vpp
Аналоговое значение может быть разделено до 1 нм
(абсолютное значение опционально)
-
Тяга двигателя по оси X
Непрерывная
40
Н
Пиковая
90
Н
Тяга двигателя по оси Y
Непрерывная
40*2 Н
Пиковая
90*2 Н
Ускорение холостого хода по верхней оси
1,5G g
Ускорение холостого хода на нижней оси
1,5G
g
Минимальная длина шага
(NanoPWM или линейный привод)
10 нм
Перемещение
300×300 400×400 мм
Точность повторного позиционирования
±0,05
±0,05
мкм
Точность позиционирования
±0,3
±0,35
мкм
Плоскостность
1 1,5 мкм
Прямолинейность
0,5 1 мкм
Тангаж
10 10 мкрад
Рыскание
5 5 мкрад
Максимальная скорость
500 мм/с
Максимальная нагрузка
30 кг

  • Научные исследования.
  • Контроль изготовления полупроводниковых пластин.
  • Оптическая связь.
  • Лазерные системы.
  • Биомедицинские исследования.
  • Сканирование поверхностей.
  • Высокоточная фотоника.
  • Высокоточное позиционирование в производственных сферах.

Модель Описание
E-CPA-XY-300X300 Двухосевой позиционер с воздушными подшипниками. Перемещение по осям XY 300×300 мм. Точность позиционирования ±0,3 мкм. Максимальная скорость 500 мм/с. Максимальная нагрузка 30 кг.
E-CPA-XY-400X400 Двухосевой позиционер с воздушными подшипниками. Перемещение по осям XY 400×400 мм. Точность позиционирования ±0,35 мкм. Максимальная скорость 500 мм/с. Максимальная нагрузка 30 кг.
Назад к разделу

Мой заказ