ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСМоторизированные позиционерыМногоосевые моторизированные позиционерыE-CPA-XY - двухосевые позиционеры с воздушными подшипниками
E-CPA-XY - двухосевые позиционеры с воздушными подшипниками
E-CPA-XY - серия вакуумных двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками.
- Перемещение по осям XY до 400 мм.
- Точность позиционирования до ±0,3 мкм.
- Максимальная скорость 500 мм/с.
- Максимальная нагрузка 30 кг.
E-CPA-XY - серия вакуумных двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками, предназначенных для позиционирования и перемещения объектов вдоль осей X и Y. Платформа обладает высокой грузоподъемностью: максимальная масса нагрузки составляет 30 кг. Для стабильной и надежной работы транслятор оснащен трехфазным двигателем с железным сердечником. Платформа может совершать перемещение с точностью до ±0,3 мкм. Для обеспечения передвижения по оси X транслятор оснащен керамической балкой из оксида алюминия. По сравнению с мраморными балками, керамические характеризуются большей точностью, стабильностью и износостойкостью.
- Одновременное позиционирование по осям X и Y.
- Две конфигурации с перемещением по осям X и Y 300 мм и 400 мм.
- Трехфазный двигатель с железным сердечником.
- Точность позиционирования до ±0,3 мкм.
- Высокая износостойкость.
Параметр | Значение | Ед. измерения | ||
---|---|---|---|---|
Модель
|
E-CPA-XY-300X300 |
E-CPA-XY-400X400 |
||
Тип двигателя
|
Трехфазный двигатель с железным сердечником | - | ||
Разрешение решетки
|
1 vpp Аналоговое значение может быть разделено до 1 нм (абсолютное значение опционально) |
- | ||
Тяга двигателя по оси X
|
Непрерывная
|
40 |
Н | |
Пиковая
|
90 |
Н | ||
Тяга двигателя по оси Y
|
Непрерывная
|
40*2 | Н | |
Пиковая
|
90*2 | Н | ||
Ускорение холостого хода по верхней оси
|
1,5G | g | ||
Ускорение холостого хода на нижней оси
|
1,5G |
g | ||
Минимальная длина шага
(NanoPWM или линейный привод) |
10 | нм | ||
Перемещение
|
300×300 | 400×400 | мм | |
Точность повторного позиционирования
|
±0,05 |
±0,05 |
мкм | |
Точность позиционирования
|
±0,3 |
±0,35 |
мкм | |
Плоскостность
|
1 | 1,5 | мкм | |
Прямолинейность
|
0,5 | 1 | мкм | |
Тангаж
|
10 | 10 | мкрад | |
Рыскание
|
5 | 5 | мкрад | |
Максимальная скорость
|
500 | мм/с | ||
Максимальная нагрузка
|
30 | кг |
- Научные исследования.
- Контроль изготовления полупроводниковых пластин.
- Оптическая связь.
- Лазерные системы.
- Биомедицинские исследования.
- Сканирование поверхностей.
- Высокоточная фотоника.
- Высокоточное позиционирование в производственных сферах.