E-MCPA-XY - двухосевые позиционеры с воздушными подшипниками

E-MCPA-XY - серия магнитных двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками.
  • Перемещение по осям XY до 200 мм.
  • Точность позиционирования ±0,2 мкм.
  • Максимальная скорость 500 мм/с.
  • Максимальная нагрузка 12 кг.

E-MCPA-XY - серия магнитных двухосевых позиционеров с воздушными подшипниками предназначена для перемещения и позиционирования объектов массой до 12 кг одновременно вдоль осей X и Y. Для стабильной и надежной работы транслятор оснащен трехфазным двигателем с железным сердечником. Платформа может совершать перемещение с точностью до ±0,2 мкм. 


Особенности: 
  • Одновременное позиционирование по осям X и Y.
  • Две конфигурации с перемещением по осям X и Y 100 мм и 200 мм.
  • Трехфазный двигатель с железным сердечником.
  • Точность позиционирования ±0,2 мкм.

 Параметр Значение Ед. измерения 
Модель
E-MCPA-XY-100X100 E-MCPA-XY-200X200
 
Тип двигателя
Трехфазный двигатель с железным сердечником -
Разрешение решетки
1 vpp
Аналоговое значение может быть разделено до 1 нм
(абсолютное значение опционально)
-
Тяга двигателя по оси X
Непрерывная
40
Н
Пиковая
90
Н
Тяга двигателя по оси Y
Непрерывная
40*2 Н
Пиковая
90*2 Н
Ускорение холостого хода по верхней оси
1,5G g
Ускорение холостого хода на нижней оси
1,5G
g
Минимальная длина шага
(NanoPWM или линейный привод)
10 нм
Перемещение
100×100  200×200  мм
Точность повторного позиционирования
±0,1
±0,1
мкм
Точность позиционирования
±0,2
±0,2
мкм
Плоскостность
1 1,5 мкм
Прямолинейность
0,5 1 мкм
Тангаж
10 20 мкрад
Рыскание
10 20 мкрад
Максимальная скорость
500 мм/с
Максимальная нагрузка
12 кг

  • Научные исследования.
  • Контроль изготовления полупроводниковых пластин.
  • Оптическая связь.
  • Лазерные системы.
  • Биомедицинские исследования.
  • Сканирование поверхностей.
  • Высокоточная фотоника.
  • Высокоточное позиционирование в производственных сферах.

Модель Описание
E-MCPA-XY-100X100 Двухосевой позиционер с воздушными подшипниками. Перемещение по осям XY 100×100 мм. Точность позиционирования ±0,2 мкм. Максимальная скорость 500 мм/с. Максимальная нагрузка 12 кг.
E-MCPA-XY-200X200 Двухосевой позиционер с воздушными подшипниками. Перемещение по осям XY 200×200 мм. Точность позиционирования ±0,2 мкм. Максимальная скорость 500 мм/с. Максимальная нагрузка 12 кг.
Назад к разделу

Мой заказ