Mirrors.TxTy0303/1010 - вращательные пьезоэлектрические держатели оптики

Mirrors.TxTy0303/1010 - серия вращательных пьезоэлектрических держателей оптики с миллисекундным временем отклика и высоким разрешением.
  • Миллисекундный отклик.
  • Разрешение <1 мкрад
  • Варианты исполнения: немагнитное исполнение (NM), исполнение
    для высокого вакуума (HV) и сверхвысокого вакуума (UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры Mirrors.TxTy0303/1010 поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение
Ед.измерения
Модель
Mirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy1010  
Исполнение
Cтандартное, NM*, HV**, UHV***
Оси перемещения
θX и θY
 
Размеры 
Ø25 × 46
 Ø25 × 96 мм
Материал корпуса
Аллюминиевый сплав и
нержавеющая сталь

Перемещение θX и θY
1,5
5 мрад
Разрешение (без обратной связи)
0,05 0,2 мкрад
Разрешение (с обратной связью)
0,1
0,5 мкрад
Ошибка линеаризации
0,1 %
Резонансная частота  θX и θY
(без нагрузки)
2 1 кГц
Расстояние от точки поворота до
поверхности платформы
6,5 мм
Встроенный датчик (с обратной связью)
SGS
Максимальное управляющее
напряжение
150
В
Рабочий температурный диапазон
-20 — 80

Тип кабеля
D-Sub 3W3

Длина кабеля
1 м
Совместимый контроллер
MC - Archimedes.N3S
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Mirrors.TxTy0303 Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 46 мм. Перемещение θX и θY 1,5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,1 мкрад. Стандартное исполнение.
Mirrors.TxTy0303.NM Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 46 мм. Перемещение θX и θY 1,5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,1 мкрад. Немагнитное исполнение.
Mirrors.TxTy0303.HV Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 46 мм. Перемещение θX и θY 1,5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,1 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Mirrors.TxTy0303.UHV Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 46 мм. Перемещение θX и θY 1,5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,1 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.
Mirrors.TxTy1010 Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 96 мм. Перемещение θX и θY 5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,5 мкрад. Стандартное исполнение.
Mirrors.TxTy1010.NM Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 96 мм. Перемещение θX и θY 5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,5 мкрад. Немагнитное исполнение.
Mirrors.TxTy1010.HV Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 96 мм. Перемещение θX и θY 5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,5 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Mirrors.TxTy1010.UHV Вращательный пьезоэлектрический держатель оптики. Размеры Ø25 × 96 мм. Перемещение θX и θY 5 мкрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,5 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ