Mirrors.Z12TxTy0101 - двухосевые пьезоэлектрические держатели оптики

Mirrors.Z12TxTy0101 - серия двухосевых пьезоэлектрических держателей оптики с миллисекундным временем отклика и высоким разрешением.
  • Размеры 30 × 30 мм.
  • Диаметр апертуры 10 мм.
  • Время отклика < 1 мс.
  • Параллельная кинематика.
  • Максимальное передвижение по оси Z 12 мкм.
  • Совместимый контроллер MC-Archimedes.N3S
  • Варианты исполнения: немагнитное исполнение (NM), исполнение
    для высокого вакуума (HV) и сверхвысокого вакуума (UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры Mirrors.Z12TxTy0101 поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение Ед.измерения
Исполнение
Cтандартное .NM* .HV** .UHV***
Оси перемещения
Z, θX и θY  
Размеры 
30 × 30
мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав и
Нержавеющая сталь

Перемещение по оси Z
12
мкм
Перемещение по θX и θY
1 мрад
Разрешение Z / θX / θY 
(без обратной связи)
0,2 / 0,05 / 0,05 нм / мкрад / мкрад
Разрешение Z / θX / θY 
(с обратной связью)
0,4 / 0,1 / 0,1 нм / мкрад / мкрад
Ошибка линеаризации Z / θX / θY 
0,2 %
Жесткость
10 Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)
5,5 кГц
Встроенный датчик (с обратной связью)
SGS
Максимальное управляющее
напряжение
150
В
Рабочий температурный диапазон
-20 - 80
Тип кабеля
D-Sub 3W3

Длина кабеля
1 м
Совместимый контроллер
MC - Archimedes.N3S
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Mirrors.Z12TxTy0101 Размеры 30 × 30 мм. Перемещение по оси Z до 12 мкм, по θX / θY до 1 мрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,4 нм по оси Z, 0.1 мкрад по θX и θY. Стандартное исполнение.
Mirrors.Z12TxTy0101.NM Размеры 30 × 30 мм. Перемещение по оси Z до 12 мкм, по θX / θY до 1 мрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,4 нм по оси Z, 0.1 мкрад по θX и θY. Немагнитное исполнение.
Mirrors.Z12TxTy0101.HV Размеры 30 × 30 мм. Перемещение по оси Z до 12 мкм, по θX / θY до 1 мрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,4 нм по оси Z, 0.1 мкрад по θX и θY. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Mirrors.Z12TxTy0101.UHV Размеры 30 × 30 мм. Перемещение по оси Z до 12 мкм, по θX / θY до 1 мрад. Управление с обратной связью с разрешением 0,4 нм по оси Z, 0.1 мкрад по θX и θY. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ