Carrier.HS100.xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.HS100.xyz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм.
Перемещение по осям XYZ до 100 мкм.
Режим обратной связи с разрешением до 1 нм.
Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV).

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Исполнение	Стандартное	.UHV*	.NM**
Оси перемещения	X, Y
Размеры (Ш х Д х В)	150 × 150 × 30			мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав
Материал корпуса	Нержавеющая сталь
Перемещение	100 × 100 × 100			мкм
Эффективный размер сквозного отверстия	66 × 66			мм
Разрешение (с обратной связью)	1			нм
Повторяемость	10			нм
Ошибка линеаризации (ось Z)	0,03			%
Резонансная частота (200 г нагрузки)	X, Y: 290 Z: 600			Гц
Масса	1			кг
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)	Емкостной
Рабочая температура	Комнатная
Максимальное управляющее напряжение	150			В
.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. *.NM - немагнитное исполнение.

Модель	Описание
Carrier.HS100.xyz.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.HS100.xyz.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.HS100.xyz.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.