Carrier.HS100.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.HS100.z.C - серия пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. 
  • Перемещение по оси Z до 100 мкм.
  • Режим обратной связи с разрешением до 1 нм.
  • Нагрузка до 5 кг.
  • Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры Carrier.HS100.Z.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования до 0,3 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр  Значение   Ед. Измерения  
Исполнение
Стандартное .UHV* .NM**  
Оси перемещения
Z  
Размеры (Ш х Д х В)
150 × 150 × 30 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав
 
Нержавеющая сталь
Перемещение
100
мкм
Эффективный размер сквозного отверстия
66 × 66
мм
Масса
1 кг
Температурный диапазон
15 – 40
°C
Тангаж/рыскание/крен
50 / 50 / 10 мкрад
Разрешение
(с обратной связью/без обратной связи)
1 / 0,3
нм
Повторяемость
10
нм
Ошибка линеаризации (ось Z)
0,035  %
Жесткость
2,5
Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)
500
Гц
Резонансная частота (2,5 кг нагрузки) 200 Гц
Максимальная нагрузка 5 кг
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)
Емкостной
 
Максимальное управляющее напряжение
150
В
*.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
**.NM - немагнитное исполнение.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Carrier.HS100.Z.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.HS100.Z.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.HS100.Z.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ