ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.S.Z - cканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S.Z - cканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S.Z - серия пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм.
Перемещение по оси Z до 100 / 200 мкм.
Режим обратной связи с разрешением до 0,8 / 1 нм.
Нагрузка до 5 кг.
Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
Варианты исполнения: стандартное; .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезопозиционеры Carrier.S.Z поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр	Значение		Ед. Измерения
Модель	Carrier.S100.Z	Carrier.S200.Z
Исполнение
Стандартное¹	✔	✔
.HV²	✔	✔
.UHV³	✔	✔
.NM⁴	✔	✔
.HV.NM⁵	✔	✔
.UHV.NM⁶	✔	✔
Оси перемещения	Z
Размеры (Ш х Д х В)	150 × 150 × 30		мм
Апертура	80 × 80		мм
Материал корпуса (стандартное, .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (стандартное, .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (немагнитное)	Алюминиевый сплав, Титан
Масса (стандартное, .HV, .UHV)	1,4		кг
Масса (немагнитное)	1,3		кг
Перемещение (режим обратной связи)	100	200	мкм
Разрешение (с обратной связью)	0,8	1,0	нм
Разрешение (без обратной связи)	0,2	0,6	нм
Повторяемость	5	5	нм
Линейность	0,02	0,02	%
Жесткость	3,0	2,0	Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)	510	360	Гц
Резонансная частота (нагрузка 0,5 кг)	350	210
Резонансная частота (нагрузка 2,5 кг)	210	140
Максимальная нагрузка	5		кг
Тип датчика	Емкостной
Длина кабеля / Разъем	1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2) Для .UHV: SMA

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитности.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитности.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

Carrier.S.Z - cканирующие пьезоэлектрические столики 220.26(Kб)

Модель	Описание
Carrier.S100.Z	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,8 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S100.Z.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,8 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
Carrier.S100.Z.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,8 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Carrier.S100.Z.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,8 нм. Полностью немагнитное исполнение.
Carrier.S100.Z.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,8 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
Carrier.S100.Z.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,8 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Carrier.S200.Z	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,0 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S200.Z.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,0 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
Carrier.S200.Z.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,0 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Carrier.S200.Z.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,0 нм. Полностью немагнитное исполнение.
Carrier.S200.Z.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,0 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
Carrier.S200.Z.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,0 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.