Carrier.S.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S.Z.C - серия пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. 
  • Перемещение по оси Z до 100 / 200 мкм.
  • Режим обратной связи с разрешением до 1 / 0,3 нм.
  • Нагрузка до 5 кг.
  • Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), для высокого вакуума до 1E-7 мбар (.HV).
  • Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры Carrier.S.Z.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования до 0,3 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр  Значение   Ед. Измерения  
Модель  Carrier.S100.Z.C  Carrier.S200.Z.C  
Исполнение
.NM*, .HV**, .UNV**  
Оси перемещения
Z  
Размеры (Ш х Д х В)
150 × 150 × 30 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав
 
Нержавеющая сталь
Перемещение
100  200
мкм
Апертура
80
мм
Масса
1 кг
Рабочая температура
15 - 40
°C
Тангаж/рыскание
50  ± 50 мкрад
Разрешение
(с обратной связью/без обратной связи)
1 / 0,3
нм
Повторяемость
10
нм
Ошибка линеаризации (ось Z)
0,03  %
Жесткость
2,5  1,7
Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)
500 350
Гц
Резонансная частота (2,5 кг нагрузки) 200  120 Гц
Максимальная нагрузка 5 кг
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)
Емкостной
 
Максимальное управляющее напряжение
150
В
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Carrier.S100.Z.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Carrier.S100.Z.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S100.Z.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Carrier.S200.Z.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Carrier.S200.Z.C.NM Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S200.Z.C.UHV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ