Carrier.HS100.zTxTy.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.HS100.zTxTy.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. 
  • Перемещение по оси Z до 100 мкм.
  • Перемещение по θX и θ 1 мрад.
  • Режим обратной связи с разрешением до 1 нм.
  • Совместим с Carrier.L7550.XY.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры Carrier.HS100.zTxTy.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение   Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное
 .NM* .UHV**
Оси перемещения
Z, θx & θY
 
Размеры (Ш х Д х В)
150 × 150 × 30 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь
 
Перемещение (Z)
100
мкм
Перемещение (θx & θY)
1 × 1 мрад
Эффективный размер сквозного отверстия 66 × 66 мм
Разрешение по Z
(с обратной связью/без обратной связи)
1 / 0,5
нм
Разрешение по θ
(с обратной связью/без обратной связи)
0,05 / 0,04 
мкрад
Повторяемость (Z)
10
нм
Повторяемость (θ)
0,1 мкрад
Ошибка линеарности (Z) 0,035 %
Ошибка линеарности (θ)
0,15 %
Жесткость 2 Н/мкм
Резонансная частота (Z)
(без нагрузки/нагрузка 2,5 кг)
480 / 160
Гц
Резонансная частота (θ)
(без нагрузки/нагрузка 2,5 кг)
500 / 150
Гц
Максимальная нагрузка
5
кг
Тип датчика
Емкостной  
Температурный диапазон
15 – 40
°C
Вес
1
кг
Максимальное управляющее напряжение
150
В
*.NM - немагнитное исполнение.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Carrier.HS100.zTxTy.C Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по оси Z 100 мкм. Диапазон перемещения θxy 1 × 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.HS100.zTxTy.NM Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по оси Z 100 мкм. Диапазон перемещения θxy 1 × 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.HS100.zTxTy.C.UHV Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по оси Z 100 мкм. Диапазон перемещения θxy 1 × 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ