ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.S.XYZ.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S.XYZ.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S.XYZ.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм.
Перемещение по осям XYZ до 100 / 200 / 300 мкм.
Режим обратной связи с разрешением до 1 / 1,5 / 2 нм.
Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), для высокого вакуума до 1E-7 мбар (.HV).
Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Параметр	Значение				Ед. Измерения
Модель	Carrier.S100.XYZ.C	Carrier.S200.XYZ.C	Carrier.S300.XYZ.C
Исполнение	NM, .HV, .UHV**
Оси перемещения	X, Y, Z
Размеры (Ш х Д х В)	150 × 150 × 30				мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав
Материал корпуса	Нержавеющая сталь
Перемещение	100 × 100 × 100	200 × 200 × 200		300 × 300 × 300	мкм
Апертура	66 × 66				мм
Разрешение (с обратной связью)	1	1,5		2	нм
Разрешение (без обратной связи)	0,3	0,4		0,5	нм
Перекрестные помехи	±30	±50			нм
Повторяемость	10				нм
Ошибка линеаризации	0,03				%
Резонансная частота (без нагрузки)	X, Y: 180 Z: 390	X, Y: 155 Z: 320		X, Y: 135 Z: 250	Гц
Резонансная частота (350 г нагрузки)	X, Y: 150 Z: 250	X, Y: 120 Z: 200		X, Y: 90 Z: 140	Гц
Нагрузка	5			3	кг
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)	Емкостной
Рабочая температура	15 - 40				°C
Максимальное управляющее напряжение	150				В

*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

Carrier.S100/200/300.xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики 771.61(Kб)

Модель	Описание
Carrier.S100.xyz.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S100.xyz.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Carrier.S100.xyz.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Carrier.S200.xyz.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S200.xyz.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Carrier.S200.xyz.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Carrier.S300.xyz.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 300 × 300 × 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S300.xyz.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 300 × 300 × 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Carrier.S100.xyz.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Перемещение до 300 × 300 × 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.