ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.SL200.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
Carrier.SL200.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
Carrier.SL200.xy/xyz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
- Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм.
- Перемещение по осям XY / XYZ 200 мкм.
- Режим обратной связи с разрешением до 2 нм.
- Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), для высокого вакуума до 1E-7 мбар (.HV).
- Совместимость с Carrier.L7550.XY и Archimedes.Nx.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Модель | Carrier.SL200.xy.C | Carrier.SL200.xyz.C | ||||||
Исполнение
|
.NM*, .HV**, .UHV*** |
|
||||||
Оси перемещения
|
X, Y |
X, Y, Z | ||||||
Размеры (Ш х Д х В)
|
182 × 150 × 19,5 | 190 × 150 × 19,5 | мм | |||||
Материал корпуса |
Алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
|
|||||||
Перемещение
|
200 × 200 |
200 × 200 × 200 |
мкм
|
|||||
Апертура |
77 х 65 |
мм | ||||||
Разрешение (режим обратной связи)
|
2 |
нм | ||||||
Повторяемость
|
± 10 |
нм
|
||||||
Ошибка линеаризации | 0,03 | % | ||||||
Максимальная нагрузка |
500
|
г | ||||||
Тип датчика
|
Емкостной | |||||||
Температурный диапазон
|
15 - 40 |
°C |
||||||
Вес |
1
|
кг
|
||||||
Максимальное управляющее напряжение
|
150 |
В
|
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.