Carrier.S200.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S200.xy/xyz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм.
  • Перемещение по осям XY / XYZ 200 мкм.
  • Режим обратной связи с разрешением < 2 нм.
  • Диапазон рабочих температур от - 15 до 40 °C.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 

Параметр Значение   Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное .NM* .UHV**
Оси перемещения
Carrier.S200.XY: X, Y
Carrier.S200.XYZ: X, Y, Z
 
Размеры (Ш х Д х В)
182 × 150 × 15 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь
 
Перемещение
Carrier.S200.XY: 200 × 200
Carrier.S200.XYZ: 200 × 200 × 200
мкм
Эффективный размер сквозного отверстия 77 х 65 мм
Разрешение (режим обратной связи)
2
нм
Повторяемость
±20
нм
Ошибка линеаризации 0,1 %
Резонансная частота
X: 200
Y: 150
Гц
Максимальная нагрузка
500
г
Тип датчика
Емкостной  
Температурный диапазон
15 – 40
°C
Вес
1
кг
Максимальное управляющее напряжение
150
В
*.NM - немагнитное исполнение.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Carrier.S200.xy.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S200.xy.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S200.xy.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Carrier.S200.xyz.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S200.xyz.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S200.xyz.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ