Carrier.SL200.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.SL200.xy/xyz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм.
  • Перемещение по осям XY / XYZ 200 мкм.
  • Режим обратной связи с разрешением до 2 нм.
  • Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), для высокого вакуума до 1E-7 мбар (.HV).
  • Совместимость с Carrier.L7550.XY и Archimedes.Nx.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 

Параметр Значение   Ед. Измерения
Модель Carrier.SL200.xy.C Carrier.SL200.xyz.C  
Исполнение
.NM*, .HV**, .UHV***
Оси перемещения
 X, Y
X, Y, Z  
Размеры (Ш х Д х В)
182 × 150 × 19,5 190 × 150 × 19,5 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
 
Перемещение
200 × 200
200 × 200 × 200
мкм
Апертура 77 х 65
мм
Разрешение (режим обратной связи)
2
нм
Повторяемость
± 10
нм
Ошибка линеаризации 0,03 %
Максимальная нагрузка
500
г
Тип датчика
Емкостной  
Температурный диапазон
15 - 40
°C
Вес
1
кг
Максимальное управляющее напряжение
150
В
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Carrier.SL200.xy.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение..
Carrier.SL200.xy.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Carrier.SL200.xy.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Carrier.SL200.xyz.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.SL200.xyz.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Carrier.SL200.xyz.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ