ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.SL200.XY/XYZ - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.SL200.XY/XYZ - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.SL200.XY/XYZ - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 / 190 × 150 × 19,5 мм.
Перемещение по осям XY / XYZ 200 мкм.
Режим обратной связи с разрешением до 2 нм.
Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
Варианты исполнения:Варианты исполнения: .HV, .UHV, .NM.
Совместимость с Carrier.L7550.XY и Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Carrier.SL200.XY/XYZ представляют собой компактные пьезоэлектрические столики с плоской конструкцией, доступные в двух конфигурациях: двухосевой (XY) и трехосевой (XYZ). Модели предназначены для интеграции в оптические и вакуумные установки, требующие нанометровой точности позиционирования. Carrier.SL200.XY обеспечивает перемещение 200 × 200 мкм в плоскости X-Y, а Carrier.SL200.XYZ добавляет вертикальное перемещение 200 мкм по оси Z, сохраняя компактные размеры. Сквозное отверстие 77 × 65 мм позволяет пропускать оптические пучки или размещать образцы внутри платформы.

Обе модели поддерживают работу с разрешением 2 нм в режиме обратной связи, обеспечивая повторяемость 10 нм. Конструкция из алюминиевого сплава и нержавеющей стали гарантирует высокую жесткость и стабильность при нагрузке до 500 г. Доступны исполнения для высокого вакуума (.HV до 2E-7 мбар), сверхвысокого вакуума (.UHV до 2E-11 мбар) и полностью немагнитное исполнение (.NM). Управление осуществляется контроллерами серии Archimedes.Nx.

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Модель	Carrier.SL200.XY	Carrier.SL200.XYZ
Исполнение
.NM¹	✔	✔
.HV²	✔	✔
.UHV³	✔	✔
Оси перемещения	X, Y	X, Y, Z
Размеры (Ш х Д х В)	182 × 150 × 19,5		190 × 150 × 19,5	мм
Апертура	77 × 65			мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав, сталь
Материал корпуса	Алюминиевый сплав, сталь
Масса	1			кг
Перемещение (режим обратной связи)	200 × 200	200 × 200 × 200		мкм
Разрешение (с обратной связью)	2			нм
Повторяемость	10			нм
Линейность	0,03			%
Максимальная нагрузка	500			г
Тип датчика	Емкостной
Максимальное управляющее напряжение	150			В
Температурный диапазон	15 - 40			°C

1) .NM - полностью немагнитное исполнение.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

Carrier.SL200.XY/XYZ - сканирующие пьезоэлектрические столики 445.97(Kб)

Модель	Описание
Carrier.SL200.XY.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Апертура 77 × 65 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Полностью немагнитное исполнение.
Carrier.SL200.XY.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Апертура 77 × 65 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
Carrier.SL200.XY.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 182 × 150 × 19,5 мм. Апертура 77 × 65 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Carrier.SL200.XYZ.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 190 × 150 × 19,5 мм. Апертура 77 × 65 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Полностью немагнитное исполнение.
Carrier.SL200.XYZ.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 190 × 150 × 19,5 мм. Апертура 77 × 65 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
Carrier.SL200.XYZ.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 190 × 150 × 19,5 мм. Апертура 77 × 65 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 × 200 × 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.