ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.S200.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
Carrier.S200.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
Carrier.S200.xy/xyz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
- Размеры платформы 182 × 150 × 15 мм.
- Перемещение по осям XY / XYZ 200 мкм.
- Режим обратной связи с разрешением < 2 нм.
- Диапазон рабочих температур от - 15 до 40 °C.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV).
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Исполнение
|
Стандартное | .NM* | .UHV** |
|
||||
Оси перемещения
|
Carrier.S200.XY: X, Y Carrier.S200.XYZ: X, Y, Z |
|||||||
Размеры (Ш х Д х В)
|
182 × 150 × 15 | мм | ||||||
Материал корпуса |
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь |
|||||||
Перемещение
|
Carrier.S200.XY: 200 × 200 Carrier.S200.XYZ: 200 × 200 × 200 |
мкм
|
||||||
Эффективный размер сквозного отверстия | 77 х 65 | мм | ||||||
Разрешение (режим обратной связи)
|
2 |
нм | ||||||
Повторяемость
|
±20 |
нм
|
||||||
Ошибка линеаризации | 0,1 | % | ||||||
Резонансная частота |
X: 200
Y: 150 |
Гц
|
||||||
Максимальная нагрузка |
500
|
г | ||||||
Тип датчика
|
Емкостной | |||||||
Температурный диапазон
|
15 – 40 |
°C |
||||||
Вес |
1
|
кг
|
||||||
Максимальное управляющее напряжение
|
150 |
В
|
||||||
*.NM - немагнитное исполнение. **.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.