S100.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

S100.xy/xyz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 55 × 55 × 40 мм.
  • Перемещение по осям XYZ 100 мкм.
  • Режим обратной связи с разрешением < 1 нм.
  • Диапазон рабочих температур от - 20 до 80 °C.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры S100.xy/xyz.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования до 0,2 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение   Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное .NM* .UHV**
Оси перемещения
S100.XY.C: X, Y
S100.XYZ.C: X, Y, Z
 
Размеры (Ш х Д х В)
55 х 55 х 40 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь
 
Перемещение
S100.XY.C: 100 х 100
S100.XYZ.C: 100 х 100 х 100
мкм
Разрешение
0,2 (без обратной связи)
1 (с обратной связью)
нм
Ошибка линеарности 0,1 %
Резонансная частота
X, Y: 400, 350
Z: 300
Гц
Жесткость 0,5 Н/мкм
Тип датчика
Емкостной  
Температурный диапазон
-20 – 80
°C
Вес
500
г
Максимальное управляющее напряжение
150
В
Длина кабеля
1 (D-Sub 3W3 разъемы)
м
*.NM - немагнитное исполнение.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
S100.xy.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Стандартное исполнение.
S100.xy.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
S100.xy.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
S100.xyz.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y, Z 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Стандартное исполнение.
S100.xyz.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y, Z 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
S100.xyz.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y, Z 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ