ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиS100.XYZ.P - сканирующие пьезоэлектрические столики

S100.XYZ.P - сканирующие пьезоэлектрические столики

S100.XYZ.P - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм.
Перемещение X, Y, Z 100 × 100 × 100 мкм.
Режим обратной связи с разрешением до 1 нм.
Нагрузка до 200 г.
Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
Варианты исполнения: стандартное, .HV, .UHV, .NM, .HV.NM, .UHV.NM.
Совместимость с контроллером серии Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Трехосевой пьезоэлектрический столик S100.XYZ.P обеспечивает позиционирование по осям X, Y и Z с диапазоном перемещения 100 мкм по каждой оси. Компактная кубическая конструкция (40 × 40 × 40 мм) объединяет три степени свободы в одном устройстве.Устройство поддерживает работу в режиме обратной связи и без неё. В режиме обратной связи емкостные датчики обеспечивают разрешение 1 нм и повторяемость 6 нм. Режим точной настройки без обратной связи позволяет достичь разрешения до 0,5 нм за счет аналогового управления пьезоэлементами.

Конструкция из алюминиевого сплава и стали (в немагнитных исполнениях – титана) обеспечивает жесткость 0,6 Н/мкм и совместимость с вакуумом до 2×10⁻¹¹ мбар. Столик доступен в шести исполнениях: стандартное, .HV, .UHV, .NM, .HV.NM и .UHV.NM. Максимальная нагрузка составляет 200 г. Управление осуществляется контроллерами серии Archimedes.Nx.

Параметр	Значение	Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное¹	✔
.HV²	✔
.UHV³	✔
.NM⁴	✔
.HV.NM⁵	✔
.UHV.NM⁶	✔
Оси перемещения	X, Y, Z
Размеры (Ш х Д х В)	40 × 40 × 40	мм
Материал корпуса (стандартное исп., .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (стандартное исп., .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (немагнитное исп.)	Алюминиевый сплав, Титан
Масса (стандартное исп., .HV, .UHV)	200	г
Масса (немагнитное исп.)	190	г
Перемещение (режим обратной связи)	100 × 100 × 100	мкм
Разрешение (с обратной связью)	1,0	нм
Разрешение (без обратной связи)	0,5	нм
Повторяемость	6	нм
Линейность	0,02	%
Жесткость	0,6	Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)	750 (X, Y, Z)	Гц
Резонансная частота (нагрузка 0,2 кг)	230 (X, Y, Z)	Гц
Максимальная нагрузка	200	г
Тип датчика	Емкостной
Максимальное управляющее напряжение	150	В
Длина кабеля / Разъем	1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2) Для .UHV: SMA

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

S100.XYZ.P - сканирующие пьезоэлектрические столики 200.31(Kб)

Модель	Описание
S100.XYZ.P	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Нагрузка до 200 г. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Стандартное исполнение.
S100.XYZ.P.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Нагрузка до 200 г. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S100.XYZ.P.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Нагрузка до 200 г. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S100.XYZ.P.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Нагрузка до 200 г. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S100.XYZ.P.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Нагрузка до 200 г. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S100.XYZ.P.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Нагрузка до 200 г. Перемещение до 100 × 100 × 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.