S100.xyz.C.P - сканирующие пьезоэлектрические столики

S100.xyz.C.P - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм.
Перемещение X, Y, Z 100 × 100 × 100 мкм.
Режим обратной связи с разрешением < 1 нм.
Нагрузка до 200 г.
Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
Варианты исполнения: для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), немагнитное (.NM).
Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.

Параметр	Значение	Ед. Измерения
Исполнение	.NM, .HV, .UHV**
Оси перемещения	X, Y, Z
Размеры (Ш х Д х В)	40 х 40 х 40	мм
Материал корпуса	Нержавеющая сталь, алюминиевый сплав
Материал корпуса	Нержавеющая сталь, алюминиевый сплав
Перемещение (с обратной связью)	100 х 100 х 100	мкм
Разрешение(с обратной связью)	1	нм
Повторяемость	10	нм
Резонансная частота (без нагрузки)	700	Гц
Рабочая температура	15 - 40	°C
Максимальная нагрузка	200	г
Линейность	0,03	%
Тип датчика	Емкостной
Максимальное управляющее напряжение	150	В
Тип кабеля	D-Sub 3W3

*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

Модель	Описание
S100.xyz.C.P.NM	Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y, Z 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
S100.xyz.C.P.HV	Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y, Z 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
S100.xyz.C.P.UHV	Размеры платформы 40 × 40 × 40 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y, Z 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.