ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиS.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики
S.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики
S.Z.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
- Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм.
- Перемещение по оси Z 100 / 300 мкм.
- Режим обратной связи с разрешением 0,5 / 1 нм.
- Нагрузка до 500 г.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), для высокого вакуума до 1E-7 мбар (.HV).
- Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Пьезопозиционеры S.Z.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Параметр | Значение | Ед. Измерения | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Модель | S100.Z.C | S300.Z.C | |||||
Исполнение | .NM*, .HV**, .UNV** | ||||||
Оси перемещения | Z | ||||||
Размеры (Ш х Д х В) | 40 × 40 × 18 | мм | |||||
Материал корпуса
|
Алюминиевый сплав, нержавеющая сталь |
||||||
Перемещение (режим обратной связи)
|
100 | 300 | мкм | ||||
Перемещение (режим без обратной связи)
|
120 | 350 | мкм | ||||
Масса
|
150 | 250 | г | ||||
Рабочая температура
|
15 - 40 |
°C |
|||||
Разрешение
|
0,2 | 0,5 | нм | ||||
Тангаж / Рыскание
|
100 | 200 | мкрад | ||||
Жесткость
|
0,5 | 0,25 | Н/мкм | ||||
Ошибка линеаризации
|
0,03 | % | |||||
Резонансная частота
|
700 | 320 | Гц | ||||
Максимальная нагрузка
|
500 | г | |||||
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)
|
Емкостной | ||||||
Максимальное управляющее напряжение
|
150 | В | |||||
Длина кабеля
|
1 (D-Sub 3W3 разъемы) |
м | |||||
*.NM - немагнитное исполнение. **.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар. **.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.