ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиS.Z - cканирующие пьезоэлектрические столики

S.Z - cканирующие пьезоэлектрические столики

S.Z - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм.
Перемещение по оси Z 100 / 200 / 300 мкм.
Режим обратной связи с разрешением 0,5 / 0,6 / 0,9 нм.
Нагрузка до 500 г.
Варианты исполнения: стандартное: .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезоэлектрические столики серии S.Z обеспечивают высокоточное вертикальное позиционирование по оси Z с диапазоном перемещения от 100 до 300 мкм в режиме обратной связи. Конструкция из алюминиевого сплава и стали (в немагнитных исполнениях – титана) с высотой 23 мм обеспечивает жесткость до 1,0 Н/мкм и совместимость с вакуумом до 2×10⁻¹¹ мбар.

Все модели серии поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи используется режим точной настройки, при котором пьезоэлементы управляются аналоговым сигналом, что позволяет достигать большего разрешения позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Модель	S100.Z	S200.Z	S300.Z
Исполнение
Стандартное¹	✔	✔	✔
.HV²	✔	✔	✔
.UHV³	✔	✔	✔
.NM⁴	✔	✔	✔
.HV.NM⁵	✔	✔	✔
.UHV.NM⁶	✔	✔	✔
Оси перемещения	Z
Размеры (Ш х Д х В)	55 × 55 × 23			мм
Материал корпуса (стандартное, .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (стандартное, .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (немагнитное)	Алюминиевый сплав, Титан
Масса (стандартное, .HV, .UHV)	260			г
Масса (немагнитное)	240			г
Перемещение (режим обратной связи)	100	200	300	мкм
Разрешение (с обратной связью)	0,5	0,6	0,9	нм
Разрешение (без обратной связи)	0,2	0,3	0,5	нм
Повторяемость	5	5	5	нм
Линейность	0,02	0,02	0,02	%
Жесткость	1,0	0,7	0,4	Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)	550	540	430	Гц
Резонансная частота (нагрузка 0,5 кг)	230	210	150	Гц
Максимальная нагрузка	500			г
Тип датчика	Емкостной
Максимальное управляющее напряжение	150			В
Длина кабеля / Разъем	1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2) Для .UHV: SMA

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

S.Z - cканирующие пьезоэлектрические столики 194.52(Kб)

Модель	Описание
S100.Z	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Стандартное исполнение.
S100.Z.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S100.Z.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S100.Z.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S100.Z.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S100.Z.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S200.Z	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Стандартное исполнение.
S200.Z.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S200.Z.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S200.Z.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S200.Z.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S200.Z.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S300.Z	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Стандартное исполнение.
S300.Z.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S300.Z.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S300.Z.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S300.Z.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S300.Z.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 23 мм. Нагрузка до 500 г. Вертикальное перемещение (ось Z) до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.