S.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики

S.Z.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм.
  • Перемещение по оси Z 100 / 300 мкм.
  • Режим обратной связи с разрешением 0,5 / 1 нм.
  • Нагрузка до 500 г.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), для высокого вакуума до 1E-7 мбар (.HV).
  • Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры S.Z.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение Ед. Измерения
Модель S100.Z.C S300.Z.C
Исполнение .NM*, .HV**, .UNV**
Оси перемещения Z
Размеры (Ш х Д х В) 40 × 40 × 18 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
 
Перемещение (режим обратной связи)
100   300 мкм
Перемещение (режим без обратной связи)
120 350 мкм
Масса
150 250 г
Рабочая температура
15 - 40
°C
Разрешение
0,2  0,5 нм
Тангаж / Рыскание
100 200 мкрад
Жесткость
0,5 0,25 Н/мкм
Ошибка линеаризации 
0,03 %
Резонансная частота
700 320 Гц
Максимальная нагрузка
500 г
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)
Емкостной  
Максимальное управляющее напряжение
150 В
Длина кабеля
1 (D-Sub 3W3 разъемы)
м
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
S300.z.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
S300.z.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
S300.z.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для cверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
S100.z.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Немагнитное исполнение.
S100.z.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
S100.z.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 40 × 40 × 18 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для cверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ