S150.Lab.XYZ - сканирующие пьезоэлектрические столики

Трехмерное XYZ-сканирующее движение 150 мкм × 150 мкм × 150 мкм.
Внешние размеры, 55 мм × 55 мм × 42 мм.
Точность позиционирования с замкнутым контуром < 1 нм.
Максимальная нагрузка 500 г.
Опции: немагнитное исполнение (.NM), исполнение для сверхвысокого вакуума (.UHV).

Параметр	Значение	Ед. измерения
Оси перемещения	X, Y, Z
Размеры	55 х 55 х 55	мм
Материал	Алюминиевый сплав / нержавеющая сталь
Перемещение	150 х 150 х 150	мкм
Разрешение	0,2	нм
Повторяемость	15	нм
Ошибка линеаризации	< 0,1	%
Резонансная частота (нагрузка 50 г)	220	Гц
Жесткость	0,5	Н/мкм
Макс. нагрузка	500	г
Датчики замкнутого контура	Емкостные
Погрешность емкости	0,3	нм
Пьезоэлектрическая емкость (X, Y)	Макс. 120	В
Рабочая температура	-20..+80	℃
Масса	200	г
Длина кабеля	1,5	м

Модель	Описание
S150.Lab.XYZ.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 х 55 х 55 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 150 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение
S150.Lab.XYZ.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 х 55 х 55 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 150 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитное поле 18 Тл