ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиSD15/30.x.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

SD15/30.x.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

SD15/30.x.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 62 × 40 × 13,5 / 80 × 40 × 13,5 мм.
Перемещение по оси Х 15 / 30 мкм.
Режим обратной связи.
Разрешение от 0,1 нм.
Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезоэлектрические сканирующие столики SD15/30.x.C предназначены для высокоточного линейного позиционирования по оси X. Модели обеспечивают перемещение 15 мкм (SD15) и 30 мкм (SD30) в режиме обратной связи с разрешением до 0,2 нм и 0,5 нм соответственно. Конструкция из алюминиевого сплава и стали (в немагнитных исполнениях – титана) обеспечивает жесткость до 28 Н/мкм и совместимость с вакуумом до 2×10⁻¹¹ мбар. Резонансная частота до 3,3 кГц позволяет выполнять быстрые перемещения с минимальной вибрацией.

Столики совместимы с контроллерами серии Archimedes.Nx.

Параметр	Значение		Ед. Измерения
Модель	SD15.x.C	SD30.x.C
Исполнение
Стандартное¹	✔	✔
.HV²	✔	✔
.UHV³	✔	✔
.NM⁴	✔	✔
.HV.NM⁵	✔	✔
.UHV.NM⁶	✔	✔
Оси перемещения	X
Размеры (Ш х Д х В)	62 × 40 × 13,5	80 × 40 × 13,5	мм
Материал корпуса	Стандартное, .HV, .UHV: Алюминиевый сплав, Сталь .NM, .HV.NM, .UHV.NM: Алюминиевый сплав, Титан
Материал корпуса
Масса (стандартное, .HV, .UHV)	180	250	г
Масса (.NM, )	160	220	г
Перемещение (режим обратной связи)	15	30	мкм
Разрешение (с обратной связью)	0,2	0,5	нм
Разрешение (без обратной связи)	0,1	0,2	нм
Повторяемость	2	4	нм
Линейность	0,03	0,03	%
Жесткость	28	18	Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)	3,3	2,2	кГц
Резонансная частота (нагрузка 300 г)	1,0	0,625	кГц
Максимальная нагрузка	300		г
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)	Емкостной
Длина кабеля / Разъем	1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2) Для .UHV: SMA

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

SD15.x.C - Сканирующие пьезоэлектрические столики 475.04(Kб)

Модель	Описание
SD15.x.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,2 нм. Стандартное исполнение.
SD15.x.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
SD15.x.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
SD15.x.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,2 нм. Полностью немагнитное исполнение.
SD15.x.C.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,2 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
SD15.x.C.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,2 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
SD30.x.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 80 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 30 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Стандартное исполнение.
SD30.x.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 80 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 30 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
SD30.x.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 80 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 30 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
SD30.x.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 80 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 30 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
SD30.x.C.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 80 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 30 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
SD30.x.C.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 80 × 40 × 13,5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 30 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.