SD15.x.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

SD15.x.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Исполнение	Стандартное	.HV*	.UHV**
Оси перемещения	X
Размеры (Ш х Д х В)	62 × 40 × 13,5			мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав
Перемещение (режим обратной связи)	15			мкм
Масса	250			г
Температурный диапазон	-20 — 80			°C
Разрешение	0,1			нм
Повторяемость	2			нм
Ошибка линеаризации	0,035			%
Тангаж / Рыскание	2 / 2			мкрад
Резонансная частота	3,3			кГц
Резонансная частота (300 г)	1			кГц
Жесткость	28			Н/мкм
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)	Емкостной
Длина кабеля	1 (D-Sub 3W3 разъемы)			м
.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар. *.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума 2E-11 мбар.

Модель	Описание
SD15.x.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13.5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,1 нм.
SD15.x.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13.5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,1 нм. Исполнение для высокого вакуума (1Е-7 мбар).
SD15.x.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 62 × 40 × 13.5 мм. Нагрузка до 300 г. Перемещение до 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).