NST-SUB - настольные приборы для измерения толщины подложек
NST-SUB — это настольный прибор для измерения толщины подложек, представляющий собой высокоточное измерительное устройство с интеллектуальным управлением, автоматическим расчетом и функцией картирования (mapping).
- Толщина образца до 3 мм.
- Точность измерения 0,4%.
- Источники света - галогеновая лампа или SLED.
- Поддержка ротационного картирования и пользовательских координат точек.
NST-SUB — это настольный прибор для измерения толщины подложек, представляющий собой высокоточное измерительное устройство с интеллектуальным управлением, автоматическим расчетом и функцией картирования (mapping). Он позволяет измерять различные плоскостные параметры и обеспечивает требуемую точность для таких материалов, как стекло, кремний и карбид кремния, диаметром до 3 мм. Устройство подходит для задач прецизионных измерений в оптической и полупроводниковой промышленности.
Диапазон измерений толщины - до 3 мм при n=1.5 (прозрачный диэлектрик), до 1.8 мм для карбида кремния (SiC) (n=1.4), до 1.3 мм для кремния (Si) (n=3.5).
С помощью инфракрасного интерферометрического датчика толщиномер выполняет высокоскоростное картирование поверхности стекла и компенсирует погрешность плоскостности подвижной платформы за счет программных алгоритмов, обеспечивая высокоточное измерение таких параметров, как коробление и изгиб.
Особенности:
- Толщина образца от 10 мкм до 3 мм.
- Точность измерения 0,4%.
- Источники света - галогеновая лампа или SLED.
- Поддержка ротационного картирования и пользовательских координат точек.
Параметры моделей
| Параметр | Значение | Ед. измерения | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Модель | NST-SUB980 | NST-SUB1310 | NST-SUB1550 | NST-SUB-VIS | |
| Диапазон длин волн | 960 - 1000 | 1280 - 1340 | 1520 - 1580 | 380 - 1050 | нм |
| Диапазон толщин, n=1.5 (Прозрачный диэлектрик) | 10 μm – 1 mm | 15 μm – 2 mm | 25 μm – 3 mm | 15 nm – 100 μm |
|
| Диапазон толщин, n=2.6 (SiC) | 6 μm – 600 μm | 9 μm – 1.2 mm | 15 μm – 1.8 mm | 10 nm – 60 μm | |
| Диапазон толщин, n=3.5 (Кремний) | 4 μm – 350 μm | 7 μm – 1 mm | 10 μm – 1.3 mm | 6 nm – 30 μm | |
| Точность (большее значение) | 50 нм или 0,4% | 50 нм или 0,4% | 50 нм или 0,4% | 20 нм или 0,2% | |
| Повторяемость | 5 | 5 | 5 | 0,02 | нм |
| Стабильность | 5 | 5 | 5 | 0,05 | нм |
| Диаметр пятна | 500 мкм |
|
|
1,5 мм |
|
| Скорость измерений | 1 Гц или 1 кГц по выбору | ||||
| Световой источник | Галогенная лампа или SLED (опционально) | Галогенная лампа | |||
| Диаметр образца | от 1 до 300 или больше | мм | |||
Дополнительные параметры
| Параметр | Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
| Габаритные размеры | 300×250×350 | мм |
| Масса | ≈ 8 | кг |
| Рабочее расстояние | 5 - 1100 | мм |
| Интерфейсы | USB 3.0, Ethernet | |
| Параметры питания | AC 100-240V / 50-60 | |
| Температура окружающей среды | 15 - 35 | °С |
| Операционная система | Windows 10/11 | |
| Поддержка SDK | C++, C#, Python, LabVIEW |
- Полупроводниковая промышленность.
- Прецизионные измерения.
- Контроль качества.
