Free3D.ZTxTy.100 - трехосевые пьезоэлектрические столики
- Размеры Ø100 × 78 мм.
- Встроенный оптический датчик.
- Нанометрическое разрешение.
- Варианты исполнения: стандартное; .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
Трехосевой пьезоэлектрический столик Free3D.ZTxTy.100 обеспечивает прецизионное позиционирование по вертикальной оси Z с диапазоном перемещения до 20 мм и угловое позиционирование по осям θX и θY с диапазоном ±30°. Компактная цилиндрическая конструкция и сквозное отверстие 20 мм позволяют интегрировать устройство в оптические системы и вакуумные установки. Устройство поддерживает работу в режиме обратной связи и без неё. Оптический энкодер с разрешением 2 нм обеспечивает высокоточную обратную связь по положению. Конструкция из алюминиевого сплава и стали обеспечивает совместимость с вакуумом до 2×10⁻¹¹ мбар и магнитными полями до 35 Тл. Максимальная вертикальная нагрузка составляет 0,5 кг.
Управление осуществляется специализированным контроллером MC-Free3D.
| Параметр | Значение | Ед. изм. | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Модель | Free3D.ZTxTy.100 | ||||||
| Исполнение |
|
|
|||||
| Стандартное1 | ✔ | ||||||
| .HV2 | ✔ | ||||||
| .UHV3 | ✔ | ||||||
| .NM4 | ✔ | ||||||
| .HV.NM5 | ✔ | ||||||
| .UHV.NM6 | ✔ | ||||||
|
Размеры (диаметр × высота) в исходном положении |
Ø100 × 78 |
мм | |||||
|
Размеры (диаметр × высота) в положении полного хода |
Ø100 × 110 | мм | |||||
|
Материал корпуса (стандартное, .HV, .UHV) |
Алюминиевый сплав, Сталь | ||||||
|
Материал корпуса (немагнитное исп.) |
Титан, керамика | ||||||
|
Масса (стандартное, .HV, .UHV) |
1010 | г | |||||
|
Масса (немагнитное исп.) |
580 | г | |||||
| Максимальная вертикальная нагрузка | 0,5 | кг | |||||
| Сквозное отверстие (апертура) | 20 | мм | |||||
| Диапазон перемещения Z | 0 ~ 20 | мм | |||||
| Диапазон перемещения θX, θY | ± 30 | ° | |||||
| Односторонняя повторяемость Z | ± 0,2 | мкм | |||||
| Односторонняя повторяемость θX, θY | ± 10 | мкрад | |||||
| Минимальный шаг Z | 10 | нм | |||||
| Минимальный шаг θX, θY | 1 | мкрад | |||||
| Датчик положения | |||||||
| Тип датчика | Оптический энкодер | ||||||
| Разрешение датчика | 2 | нм | |||||
| Кабель / Разъем |
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: Kapton, PEEK D-Sub 15 |
||||||
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
