OB - сканирующие держатели объектива для автофокусировки

OB - серия сканирующих держателей объектива для автофокусировки.
  • Диапазон перемещения: до 400 мкм.
  • Разрешение в режиме обратной связи: от 0,2 нм.
  • Конфигурации: стандартное; .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
  • Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы OB поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. В случае управления высокочастотным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с разрешением от 0,2 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFields в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии Archimedes.Nx.

Параметр Значение Ед. Измерения
Модель OB100 OB200 OB400  
Исполнение



Стандартное1  
.HV2  
.UHV3  
.NM4  
.HV.NM5  
.UHV.NM6  
Размеры (Ш х Д х В) 65 × 50 × 27 65 × 50 × 27 65 × 50 × 39 мм
Материал корпуса
(стандартное, .HV, .UHV)
Алюминиевый сплав, Сталь  
Материал корпуса
(немагнитное исп.)
Алюминиевый сплав, Титан  
Масса
(стандартное, .HV, .UHV)
220 220 400 г
Масса
(немагнитное исп.)
200 200 360 г
Диапазон перемещения 100 200 400 мкм
Разрешение (с обратной связью) 0,5 0,6 1,2 нм
Разрешение (без обратной связи) 0,2 0,3 0,6 нм
Повторяемость 8 нм
Линейность 0,03 %
Жесткость
0,5 0,35 0,25 Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)
600 480 380 Гц
Резонансная частота (нагрузка 150 г)
250 220 165
Максимальная нагрузка
300 г
Тип датчика Емкостной  
Длина кабеля / Разъем 1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2)
Для .UHV: SMA
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание Наличие
OB200.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение. Под заказ
OB400.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. Под заказ
OB400.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. Под заказ
OB400.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Полностью немагнитное исполнение. Под заказ
OB400.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. Под заказ
OB400.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. Под заказ
OB400 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий. Под заказ
OB200.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. Под заказ
OB200.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. Под заказ
OB100 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий. Под заказ
OB200.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. Под заказ
OB200.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. Под заказ
OB200 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий. Под заказ
OB100.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. Под заказ
OB100.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. Под заказ
OB100.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение. Под заказ
OB100.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. Под заказ
OB100.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. Под заказ
Назад к разделу

Мой заказ