OB - сканирующие держатели объектива для автофокусировки

OB - серия сканирующих держателей объектива для автофокусировки.
  • Диапазон перемещения: до 400 мкм.
  • Разрешение в режиме обратной связи: от 0,2 нм.
  • Конфигурации: стандартное; .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
  • Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы OB поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. В случае управления высокочастотным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с разрешением от 0,2 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFields в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии Archimedes.Nx.

Параметр Значение Ед. Измерения
Модель OB100 OB200 OB400  
Исполнение



Стандартное1  
.HV2  
.UHV3  
.NM4  
.HV.NM5  
.UHV.NM6  
Размеры (Ш х Д х В) 65 × 50 × 27 65 × 50 × 27 65 × 50 × 39 мм
Материал корпуса
(стандартное, .HV, .UHV)
Алюминиевый сплав, Сталь  
Материал корпуса
(немагнитное исп.)
Алюминиевый сплав, Титан  
Масса
(стандартное, .HV, .UHV)
220 220 400 г
Масса
(немагнитное исп.)
200 200 360 г
Диапазон перемещения 100 200 400 мкм
Разрешение (с обратной связью) 0,5 0,6 1,2 нм
Разрешение (без обратной связи) 0,2 0,3 0,6 нм
Повторяемость 8 нм
Линейность 0,03 %
Жесткость
0,5 0,35 0,25 Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)
600 480 380 Гц
Резонансная частота (нагрузка 150 г)
250 220 165
Максимальная нагрузка
300 г
Тип датчика Емкостной  
Длина кабеля / Разъем 1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2)
Для .UHV: SMA
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
OB100 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
OB100.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OB100.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OB100.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
OB100.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OB100.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OB200 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
OB200.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OB200.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OB200.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение.
OB200.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OB200.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 27 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OB400 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
OB400.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OB400.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OB400.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Полностью немагнитное исполнение.
OB400.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OB400.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 65 × 50 × 39 мм. Нагрузка до 300 г. Диапазон перемещения 400 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,2 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ