ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыГексаподы и многоосевые моторизированные пьезопозиционерыOBHL - сканирующие держатели объектива для автофокусировки
OBHL - сканирующие держатели объектива для автофокусировки
OBHL - серия сканирующих держателей объектива для автофокусировки для комнатной температуры.
- Диапазон перемещения по оси Z 100 / 200 мкм.
- Разрешение в режиме обратной связи от 1 нм.
- Конфигурации: стандартное; .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
- Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Пьезоплатформы OBHL поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Управление осуществляется контроллерами серии Archimedes.Nx.
| Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Модель | OBHL100 | OBHL200 | ||||||
| Исполнение |
|
|
|
|||||
| Стандартное1 | ✔ | ✔ | ||||||
| .HV2 | ✔ | ✔ | ||||||
| .UHV3 | ✔ | ✔ | ||||||
| .NM4 | ✔ | ✔ | ||||||
| .HV.NM5 | ✔ | ✔ | ||||||
| .UHV.NM6 | ✔ | ✔ | ||||||
| Размеры (Ш х Д х В) | 64 × 64 × 54 | 78 × 78 × 67 | мм | |||||
|
Материал корпуса (стандартное, .HV, .UHV) |
Алюминиевый сплав, Сталь | |||||||
|
Материал корпуса (немагнитное исп.) |
Алюминиевый сплав, Титан | |||||||
|
Масса (стандартное, .HV, .UHV) |
650 | 850 | г | |||||
|
Масса
(немагнитное исп.) |
600 | 800 | г | |||||
|
Диапазон перемещения (режим обратной связи)
|
100 | 200 | мкм | |||||
|
Разрешение (с обратной связью)
|
1,0 | 1,5 | нм | |||||
|
Разрешение (без обратной связи)
|
0,3 | 0,5 | нм | |||||
|
Повторяемость
|
5 | нм | ||||||
|
Линейность
|
0,02 | % | ||||||
|
Жесткость
|
3 | 2 | Н/мкм | |||||
|
Резонансная частота (без нагрузки)
|
1000 | 750 | Гц | |||||
|
Резонансная частота (нагрузка 150 г)
|
560 | 400 | ||||||
|
Максимальная нагрузка
|
1 | кг | ||||||
| Тип датчика | Емкостной | |||||||
| Длина кабеля / Разъем |
1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2) Для .UHV: SMA |
|||||||
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.






