OBHL - сканирующие держатели объектива для автофокусировки

OBHL - серия сканирующих держателей объектива для автофокусировки для комнатной температуры.
  • Диапазон перемещения по оси Z 100 / 200 мкм.
  • Разрешение в режиме обратной связи от 1 нм.
  • Конфигурации: стандартное; .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
  • Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы OBHL поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом.  Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии Archimedes.Nx.

Параметр Значение Ед. Измерения
Модель OBHL100 OBHL200  
Исполнение


Стандартное1  
.HV2  
.UHV3  
.NM4  
.HV.NM5  
.UHV.NM6  
Размеры (Ш х Д х В) 64 × 64 × 54 78 × 78 × 67 мм
Материал корпуса
(стандартное, .HV, .UHV)
Алюминиевый сплав, Сталь  
Материал корпуса
(немагнитное исп.)
Алюминиевый сплав, Титан  
Масса
(стандартное, .HV, .UHV)
650 850 г
Масса
(немагнитное исп.)
600 800 г
Диапазон перемещения (режим обратной связи)
100 200 мкм
Разрешение (с обратной связью)
1,0 1,5 нм
Разрешение (без обратной связи)
0,3 0,5 нм
Повторяемость
5 нм
Линейность
0,02 %
Жесткость
3 2 Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)
1000 750 Гц
Резонансная частота (нагрузка 150 г)
560 400
Максимальная нагрузка
1 кг
Тип датчика Емкостной  
Длина кабеля / Разъем 1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2)
Для .UHV: SMA
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
OBHL100 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 64 × 64 × 54 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,0 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
OBHL100.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 64 × 64 × 54 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,0 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OBHL100.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 64 × 64 × 54 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,0 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OBHL100.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 64 × 64 × 54 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,0 нм. Полностью немагнитное исполнение.
OBHL100.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 64 × 64 × 54 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,0 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OBHL100.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 64 × 64 × 54 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 100 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,0 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OBHL200 Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 78 × 78 × 67 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
OBHL200.HV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 78 × 78 × 67 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OBHL200.UHV Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 78 × 78 × 67 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
OBHL200.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 78 × 78 × 67 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
OBHL200.HV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 78 × 78 × 67 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
OBHL200.UHV.NM Сканирующий держатель объектива для автофокусировки. Размеры 78 × 78 × 67 мм. Нагрузка до 1 кг. Диапазон перемещения 200 мкм. Режим обратной связи, емкостной датчик, разрешение 1,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ