LS35x.Lab - линейные пьезопозиционеры
- Размеры платформы: 35 × 35 × 12 мм.
- Минимальный размер шага: ~ 5 нм, 100 нм (.E).
- Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
- Разрешение энкодера 2 нм (по умолчанию), 50 нм (.E).
- Совместимость с контроллером MC-Newton.S.
Пьезоплатформы LS35x.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 5 нм (100 нм для исполнения .Е). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.
| Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Исполнение |
|
|
||||||
| Стандартное1 | ✔ | |||||||
| .HV2 | ✔ | |||||||
| .UHV3 | ✔ | |||||||
| .NM4 | ✔ | |||||||
| .HV.NM5 | ✔ | |||||||
| .UHV.NM6 | ✔ | |||||||
| .E7 | ✔ | |||||||
| Размеры (Ш х Д х В) | 35 × 35 × 12 | мм | ||||||
|
Материал корпуса (стандартное, .HV, .UHV, .E) |
Сталь | |||||||
|
Материал корпуса (немагнитное исп.) |
Титан, керамика | |||||||
|
Масса (стандартное, .HV, .UHV, .E) |
85 | г | ||||||
|
Масса (немагнитное исп.) |
65 | г | ||||||
| Диапазон перемещения | 20 | мм | ||||||
|
Скорость (стандартные исполнения) |
0,0001 - 20 | мм/с | ||||||
|
Скорость (.HV, .UHV) |
0,0001 - 2 | мм/с | ||||||
| Минимальный шаг (замкнутый контур) | 5 | нм | ||||||
| Минимальный шаг (.E исполнение) | 100 | нм | ||||||
| Повторяемость | ± 100 | нм | ||||||
| Повторяемость (.E исполнение) | ± 300 | нм | ||||||
| Динамическая сила | 2 (опционально: 4) | Н | ||||||
| Удерживающая сила (тип.) | 3 (опционально: 5) | Н | ||||||
| Максимальная нагрузка (горизонтально) | 1 | кг | ||||||
| Максимальная нагрузка (вертикально) | 100 (опционально: 250) | г | ||||||
| Датчик положения | ||||||||
| Тип датчика | Оптический энкодер | |||||||
| Разрешение датчика (стандартные исп.) | 2 (опционально: 0,5) | нм | ||||||
| Разрешение датчика (.E исполнение) | 50 | нм | ||||||
| Кабель / Разъем |
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: Kapton, PEEK D-Sub 15 |
|||||||
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
7) .E - экономичное исполнение для атмосферных условий, с пониженными характеристиками точности.
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.










