LS35x.Lab - линейные пьезопозиционеры

LS35x.Lab - серия платформ для комнатной температуры с контролем движения и высоким разрешением, осуществляющих линейное движение по оси X.
  • Размеры платформы: 35 × 35 × 12 мм.
  • Минимальный размер шага: ~ 5 нм, 100 нм (.E).
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Разрешение энкодера 2 нм (по умолчанию), 50 нм (.E).
  • Совместимость с контроллером MC-Newton.S.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы LS35x.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 5 нм (100 нм для исполнения .Е). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.

Параметр Значение    Ед. Измерения  
Исполнение

Стандартное1  
.HV2  
.UHV3  
.NM4  
.HV.NM5  
.UHV.NM6  
.E7  
Размеры (Ш х Д х В) 35 × 35 × 12 мм
Материал корпуса
(стандартное, .HV, .UHV, .E)
Сталь  
Материал корпуса
(немагнитное исп.)
Титан, керамика  
Масса
(стандартное, .HV, .UHV, .E)
85 г
Масса
(немагнитное исп.)
65 г
Диапазон перемещения 20 мм
Скорость
(стандартные исполнения)
0,0001 - 20 мм/с
Скорость
(.HV, .UHV)
0,0001 - 2 мм/с
Минимальный шаг (замкнутый контур) 5 нм
Минимальный шаг (.E исполнение) 100 нм
Повторяемость ± 100 нм
Повторяемость (.E исполнение) ± 300 нм
Динамическая сила 2 (опционально: 4) Н
Удерживающая сила (тип.) 3 (опционально: 5) Н
Максимальная нагрузка (горизонтально) 1 кг
Максимальная нагрузка (вертикально) 100 (опционально: 250) г
Датчик положения    
Тип датчика Оптический энкодер  
Разрешение датчика (стандартные исп.) 2 (опционально: 0,5) нм
Разрешение датчика (.E исполнение) 50 нм
Кабель / Разъем Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: Kapton, PEEK D-Sub 15
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
7) .E - экономичное исполнение для атмосферных условий, с пониженными характеристиками точности.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
LS35x.Lab Линейный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 12 мм. Нагрузка до 1 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 20 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
LS35x.Lab.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 12 мм. Нагрузка до 1 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 20 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS35x.Lab.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 12 мм. Нагрузка до 1 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 20 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS35x.Lab.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 12 мм. Нагрузка до 1 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 20 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
LS35x.Lab.HV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 12 мм. Нагрузка до 1 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 20 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS35x.Lab.UHV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 12 мм. Нагрузка до 1 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 20 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS35x.Lab.E Линейный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 12 мм. Нагрузка до 1 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 20 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 50 нм, минимальный шаг 100 нм. Экономичное исполнение для атмосферных условий.
Назад к разделу

Мой заказ