LS-LinearXXX - линейные пьезопозиционеры

LS-LinearXXX - серия линейных пьезопозиционеров, осуществляющих движение по оси X.
  • Совместимы со сверхвысоким вакуумом до 2 E-11 мбар.
  • Выдерживают очень низкие температуры до 30 мК.
  • Сделаны из немагнитного композита Ti & BeCu.
  • Совместимы с магнитным полем 35 Тл.
  • Перемещение до 200 мм.
  • Управление с обратной связью с разрешением 150 нм.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы LS-LinearXXX поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр   Значение Ед.измерения
Модель LS-Linear30 LS-Linear50 LS-Linear75 LS-Linear100 LS-Linear200
Исполнение
.HV* (стандартное), .ULT**, .UHV***, .ULT.UHV****
Размеры
60 × 32 × 19,5 90 × 32 × 19,5 135 × 32 × 19,5
180 × 32 × 19,5 320 × 32 × 19,5 мм
Масса
120 150 200 300 600 г
Температурный диапазон
1,4 - 400 К
Совместимость с вакуумом
1,00E-07 мбар
Максимальная магнитная индукция
35 Тл
Опция 1 - 30 мК
.ULT / .ULT.UHV  
Опция 2 - 2 Е-11 мбар
.UHV / .ULT.UHV  
Материалы
   
Материал корпуса
Титан (.HV, .UHV)
BeCu (.ULT, .ULT.UHV)
Кабели
Витые спаренные провода из люминофорной бронзы, 20 см
Материал пинов
      Стеклонаполненный полимер, BeCu (.HV, .ULT)
Peek, BeCu (.UHV, .ULT.UHV)
 
Количество пинов
Привод - 2, датчик - 3 шт.
Движение в режиме с обратной связью
Диапазон перемещения
30 50 75 100 200 мм
Максимальная скорость при Т = 300 К
~ 3 мм/с
Максимальное упправляющее напряжение
200 В
Максимальная нагрузка
0,75 1,5 1,5 1,5 2 кг
Динамическая сила
3 Н
Датчик положения
Тип датчика
Резистивный  
Диапазон датчика
30 50 75 100 320 мм
Разрешение датчика
150 нм
Повторяемость
1 - 2 мкм
*.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар.
**.ULT- низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар.
***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар.
****.ULT.UHV - низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.
  • Измерение диэлектрических/сегнетоэлектрических свойств, коэффициента магнитоэлектрической связи, теплопередачи, коэффициента термоЭДС, FMR (ферромагнитный резонанс).

Модель Описание
LS-Linear30.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 60 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear30.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 60 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear30.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 60 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear30.ULT.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 60 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear50.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 90 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 50 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear50.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 90 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 50 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear50.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 90 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 50 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear50.ULT.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 90 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 50 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear75.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 135 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 75 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear75.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 135 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 75 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear75.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 135 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 75 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear75.ULT.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 135 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 75 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear100.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 180 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 100 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear100.ULT Линейный пьезопозиционер.Размеры платформы 180 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 100 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear100.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 180 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 100 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear100.ULT.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 180 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 100 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear200.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 320 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 200 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear200.ULT Линейный пьезопозиционер.Размеры платформы 320 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 200 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear200.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 320 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 200 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
LS-Linear200.ULT.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 320 x 32 x 19,5 мм. Перемещение до 200 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением 150 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар, магнитная индукция 35 Тл.
Назад к разделу

Мой заказ