RS35.Lab - поворотные пьезопозиционеры

RS35.Lab - серия поворотных платформ компактного размера для комнатной температуры с оптическим датчиком определения положения.
  • Размеры 35 × 35 × 11 мм.
  • Режим обратной связи, оптический энкодер.
  • Разрешение 0,2 мкрад (по умолчанию), 3 мкрад (для исполнения .E).
  • Минимальный размер шага < 3 мкрад.
  • Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Совместимость с контроллером MC-Newton.S.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры RS35.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом.  В случае управления высоковольтным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 3 мкрад (10 мкрад для исполнения .E). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFields в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.

Параметр Значение    Ед. Измерения  
Исполнение

Стандартное1  
.HV2  
.UHV3  
.NM4  
.HV.NM5  
.UHV.NM6  
.E7  
Размеры (Ш х Д х В) 35 × 35 × 11 мм
Диаметр движущейся платформы 33,5 мм
Апертура 5 мм
Материал корпуса 
(стандартное исп., .HV, .UHV, .E)
Сталь
 
Материал корпуса  
(немагнитное исп.)
Титан, керамика  
Масса
(стандартное исп., .HV, .UHV, .E)
70 г
Масса 
(немагнитное исп.)
90 г
Диапазон перемещения 360° °
Скорость  0,0005 - 45 °/с
Минимальный шаг 3 мкрад
Минимальный шаг
(.E исполнение)
10 мкрад
Повторяемость ± 7,5 мкрад
Повторяемость
(.E исполнение)
± 25 мкрад
Вращающий момент 20 Н·мм
Удерживающий момент 50 Н·мм
Максимальная нагрузка 500 г
Датчик положения    
Тип датчика Оптический энкодер  
Разрешение датчика
(стандартные исполнения)
0,2 мкрад
Разрешение датчика
(.E исполнение)
3 мкрад
Кабель / Разъем Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: kapton, PEEK D-Sub 15
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
7) .E - экономичное исполнение для атмосферных условий, с пониженными характеристиками точности.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
RS35.Lab Поворотный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 11 мм. Нагрузка до 500 г, вращающий момент 20 Н·мм, удерживающий момент 50 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,2 мкрад. Стандартное исполнение.
RS35.Lab.HV Поворотный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 11 мм. Нагрузка до 500 г, вращающий момент 20 Н·мм, удерживающий момент 50 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,2 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
RS35.Lab.UHV Поворотный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 11 мм. Нагрузка до 500 г, вращающий момент 20 Н·мм, удерживающий момент 50 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,2 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
RS35.Lab.NM Поворотный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 11 мм. Нагрузка до 500 г, вращающий момент 20 Н·мм, удерживающий момент 50 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,2 мкрад. Полностью немагнитное исполнение.
RS35.Lab.HV.NM Поворотный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 11 мм. Нагрузка до 500 г, вращающий момент 20 Н·мм, удерживающий момент 50 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,2 мкрад. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
RS35.Lab.UHV.NM Поворотный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 11 мм. Нагрузка до 500 г, вращающий момент 20 Н·мм, удерживающий момент 50 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,2 мкрад. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
RS35.Lab.E Поворотный пьезопозиционер. Размеры 35 × 35 × 11 мм. Нагрузка до 500 г, вращающий момент 20 Н·мм, удерживающий момент 50 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 3 мкрад. Экономичное исполнение для атмосферных условий.
Назад к разделу

Мой заказ