RS65.Lab - поворотные пьезопозиционеры

RS65.Lab - серия поворотных платформ для комнатной температуры со сквозной апертурой диаметром 25,4 мм.
  • Размеры: 65 × 65 × 13 мм.
  • Режим обратной связи, оптический энкодер.
  • Разрешение: 0,07 мкрад (по умолчанию), 2 мкрад (для исполнения .E).
  • Минимальный размер шага: 3 мкрад.
  • Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Совместимость с контроллером MC-Newton.S.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры RS65.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. В случае управления высоковольтным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 3 мкрад (10 мкрад для исполнения .E). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFields в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.

Параметр Значение    Ед. Измерения  
Исполнение

Стандартное1  
.HV2  
.UHV3  
.NM4  
.HV.NM5  
.UHV.NM6  
.E7  
Размеры (Ш х Д х В) 65 × 65 × 13 мм
Диаметр движущейся платформы 62 мм
Апертура 25,4 мм
Материал корпуса 
(стандартное исп., .HV, .UHV, .E)
Алюминиевый сплав, Сталь
 
Материал корпуса  
(немагнитное исп.)
Титан, керамика  
Масса
(стандартное исп., .HV, .UHV)
120 г
Масса 
(немагнитное исп.)
170 г
Масса 
(.E исполнение)
310 г
Диапазон перемещения 360° °
Скорость  0,0005 - 45 °/с
Минимальный шаг 3 мкрад
Минимальный шаг
(.E исполнение)
10 мкрад
Повторяемость ± 5 мкрад
Повторяемость
(.E исполнение)
± 20 мкрад
Вращающий момент 40 Н·мм
Удерживающий момент 100 Н·мм
Максимальная нагрузка 1 кг
Датчик положения    
Тип датчика Оптический энкодер  
Разрешение датчика
(стандартные исполнения)
0,07 мкрад
Разрешение датчика
(.E исполнение)
2 мкрад
Кабель / Разъем Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: Kapton, PEEK D-Sub 15
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
7) .E - экономичное исполнение для атмосферных условий, с пониженными характеристиками точности.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
RS65.Lab Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 1 кг, вращающий момент 40 Н·мм, удерживающий момент 100 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,07 мкрад. Стандартное исполнение.
RS65.Lab.HV Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 1 кг, вращающий момент 40 Н·мм, удерживающий момент 100 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,07 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
RS65.Lab.UHV Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 1 кг, вращающий момент 40 Н·мм, удерживающий момент 100 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,07 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
RS65.Lab.NM Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 1 кг, вращающий момент 40 Н·мм, удерживающий момент 100 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,07 мкрад. Полностью немагнитное исполнение.
RS65.Lab.HV.NM Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 1 кг, вращающий момент 40 Н·мм, удерживающий момент 100 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,07 мкрад. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
RS65.Lab.UHV.NM Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 1 кг, вращающий момент 40 Н·мм, удерживающий момент 100 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 0,07 мкрад. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
RS65.Lab.E Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 1 кг, вращающий момент 40 Н·мм, удерживающий момент 100 Н·мм. Диапазон перемещения 360°. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 мкрад. Экономичное исполнение для атмосферных условий.
Назад к разделу

Мой заказ