ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные поворотные пьезопозиционерыRS65.Lab - поворотные пьезопозиционеры
RS65.Lab - поворотные пьезопозиционеры
RS65.Lab - серия поворотных платформ для комнатной температуры со сквозной апертурой диаметром 25,4 мм.
- Собственная частота: 20 кГц.
- Размеры: 65 × 65 × 13 мм.
- Режим обратной связи, оптический энкодер.
- Разрешение: 0,07 мкрад (по умолчанию), 2 мкрад (для исполнения .E).
- Минимальный размер шага: 3 мкрад.
- Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
- Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Пьезопозиционеры RS65.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.
Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 3 мкрад (10 мкрад для исполнения .E). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Модель | RS65.Lab | RS65.Lab.E | |||
Исполнение
|
Стандартное
.NM* .HV** .UHV*** |
- | |||
Размеры
|
65 × 65 × 13
|
мм | |||
Апертура | 25,4 | мм | |||
Материал корпуса
|
Нержавеющая сталь
(стандартное, .HV,.UHV) Титан (.NM) |
Алюминий
|
|||
Масса
|
200 | г | |||
Диапазон перемещения
|
360 |
° |
|||
Собственная частота
|
20 |
кГц | |||
Кабели
|
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: kapton, PEEK D-Sub 15 |
|
|||
Параметры рекомендованные при
горизонтальной установке |
|||||
Максимальная скорость
|
~ 10 |
°/с |
|||
Минимальный шаг
(режим обратной связи) |
3 | 10 |
мкрад |
||
Повторяемость | ± 5 | ± 20 | мкрад | ||
Вращающий момент
|
40 |
Н·мм |
|||
Удерживающий момент
|
100 | Н·мм | |||
Нагрузка
|
2000 | г | |||
Диаметр движущейся платформы
|
62 | мм | |||
Датчик
|
|||||
Тип датчика
|
Оптический энкодер |
|
|||
Разрешение датчика
|
0,07 | 2 | мкрад | ||
**.NM - немагнитное исполнение. ***.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар. ****.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар. |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
RS65.Lab - поворотные пьезопозиционеры 903.58(Kб)