RS65.Lab - поворотные пьезопозиционеры

RS65.Lab - серия поворотных платформ для комнатной температуры со сквозной апертурой диаметром 25,4 мм.
  • Собственная частота: 20 кГц.
  • Размеры: 65 × 65 × 13 мм.
  • Режим обратной связи, оптический энкодер.
  • Разрешение: 0,07 мкрад (по умолчанию), 2 мкрад (для исполнения .E).
  • Минимальный размер шага: 3 мкрад.
  • Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры RS65.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 3 мкрад (10 мкрад для исполнения .E). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение
Ед.измерения
Модель RS65.Lab RS65.Lab.E
Исполнение
Стандартное
.NM*
.HV**
.UHV***
-
Размеры
65 × 65 × 13
мм
Апертура 25,4 мм
Материал корпуса
Нержавеющая сталь
(стандартное,
.HV,.UHV)
Титан (.NM)

           Алюминий          

   
Масса
200 г
Диапазон перемещения
360
°
Собственная частота
20
кГц
Кабели
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: kapton, PEEK D-Sub 15

Параметры рекомендованные при
горизонтальной установке
     
Максимальная скорость
~ 10
°/с
Минимальный шаг
(режим обратной связи)
3 10 мкрад
Повторяемость ± 5  ± 20 мкрад
Вращающий момент
40 Н·мм
Удерживающий момент
100 Н·мм
Нагрузка
2000 г
Диаметр движущейся платформы
62 мм
Датчик
Тип датчика
Оптический энкодер

Разрешение датчика
0,07 2 мкрад
**.NM - немагнитное исполнение.
***.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар.
****.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
RS65.Lab.E Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Максимальная нагрузка & вращающий момент до 2000 г & 40 Н·мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 мкрад. Стандартное исполнение.
RS65.Lab.HV Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Максимальная нагрузка & вращающий момент до 2000 г & 40 Н·мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,07 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 1 Е-7 мбар.
RS65.Lab.UHV Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Максимальная нагрузка & вращающий момент до 2000 г & 40 Н·мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,07 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 Е-11 мбар.
RS65.Lab.NM Поворотный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Максимальная нагрузка & вращающий момент до 2000 г & 40 Н·мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,07 мкрад. Немагнитное исполнение.
Назад к разделу

Мой заказ