LS35z.Lab - вертикальные пьезопозиционеры

LS35z.Lab - серия компактных подъемных платформ для комнатной температуры, осуществляющих движение по оси Z.
  • Размеры платформы: 35 × 35 × 41 мм.
  • Режим обратной связи, оптический энкодер.
  • Разрешение энкодера: 2 нм.
  • Минимальный размер шага ~ 5 нм.
  • Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Варианты исполнения: стандартное; .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы LS35z.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастотным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 5 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение Ед.измерения
Модель
LS35z.Lab
 
Вариант исполнения

 
Стандартное1
 
.HV2
 
.UHV3

 
.NM4
 
.HV.NM5
 
.UHV.NM6
 
Основные параметры      
Размеры
35 × 35 × 41 мм
Материал корпуса
Стандартное исполнение: сталь
.HV: сталь
.UHV: сталь
.NM: титан, керамика
 
Масса
Стандартное исполнение: 250
.HV: 250
.UHV: 250
.NM: 160
г
Диапазон перемещения
10 мм
Кабели и разъемы
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: kapton, PEEK D-Sub 15
 
Параметры движения для
рекомендуемой установки 
   
Максимальная скорость
10 мм/с
Минимальный шаг
(режим с обратной связью)
5 нм
Точность позиционирования ± 150 нм
Тангаж/рыскание 0,3 мрад
Максимальная нагрузка
500 г
Удерживающая сила
7,5 Н
Параметры датчика
Тип датчика
Оптический
Разрешение датчика
2 нм
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума 2E-11 мбар.
4) .NM - немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.






Модель Описание
LS35z.Lab Вертикальный пьезопозиционер. Размеры платформы 35 × 35 × 41 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Стандартное исполнение.
LS35z.Lab.NM Вертикальный пьезопозиционер. Размеры платформы 35 × 35 × 41 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
LS35z.Lab.HV Вертикальный пьезопозиционер. Размеры платформы 35 × 35 × 41 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS35z.Lab.UHV Вертикальный пьезопозиционер. Размеры платформы 35 × 35 × 41 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS35z.Lab.HV.NM Вертикальный пьезопозиционер. Размеры платформы 35 × 35 × 41 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS35z.Lab.UHV.NM Вертикальный пьезопозиционер. Размеры платформы 35 × 35 × 41 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ