ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные вертикальные пьезопозиционерыLS65z.Lab - вертикальные пьезопозиционеры

LS65z.Lab - вертикальные пьезопозиционеры

LS65z.Lab - серия подъемных платформ для комнатной температуры, осуществляющих движение по оси Z.

Размеры: 65 × 65 × 44 мм.
Собственная частота: 20 кГц.
Разрешение: 2 нм (0,5 нм для исполнения .adv).
Минимальный размер шага: 10 нм (5 нм для исполнения .adv).
Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума (.UHV).

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезоплатформы LS65z.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастотным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр	Значение				Ед.измерения
Исполнение	Стандартное	.NM*	.HV**	.UHV***
Параметры	65 × 65 × 44				мм
Материал корпуса	Алюминий, титан
Масса	430				г
Диапазон перемещения	10 (опционально 20 мм)				мм
Собственная частота	20				кГц
Кабели и разъемы	Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: kapton, PEEK D-Sub 15
Параметры движения для рекомендуемой установки
Максимальная скорость	~ 10				мм/с
Минимальный шаг (режим с обратной связью)	10 / 5 (.adv****)				нм
Максимальная нагрузка	500				г
Повторяемость	± 150				нм
Тангаж/рыскание	0,3				мрад
Параметры датчика
Тип датчика	Оптический
Разрешение датчика	2 / 0,5 (.adv****)				нм
.NM - немагнитное исполнение. .HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар. .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. **.adv - исполнение с оптическим энкодером с разрешением 0,5 нм.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

LS65z.Lab - вертикальные пьезопозиционеры 958.85(Kб)

Модель	Описание
LS65z.Lab.NM	Вертикальный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 44 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи. Определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
LS65z.Lab.HV	Вертикальный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 44 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи. Определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
LS65z.Lab.UHV	Вертикальный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 44 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи. Определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS65z.Lab.adv.NM	Вертикальный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 44 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи. Определение положения с разрешением до 0,5 нм. Немагнитное исполнение.
LS65z.Lab.adv.HV	Вертикальный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 44 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи. Определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
LS65z.Lab.adv.UHV	Вертикальный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 44 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи. Определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.