ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.HS100.xy.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
Carrier.HS100.xy.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
- Совместим со сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом и имеет немагнитное исполнение.
- Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
- Материал корпуса: алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
- Замкнутый / разомкнутый контур управления.
- Разрешение 1 нм для замкнутого контура.
- Разрешение 0,2 нм для разомкнутого контура.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Исполнение
|
Стандартное | .NM* | .UHV** |
|
||||
Оси перемещения
|
X, Y |
|||||||
Размеры (Ш х Д х В)
|
150 х 150 х 30 | мм | ||||||
Материал корпуса |
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь |
|||||||
Перемещение
|
100 х 100 |
мкм
|
||||||
Эффективный размер сквозного отверстия | 66 х 66 | мм | ||||||
Разрешение
|
0,2 (разомкнутый контур) 1 (замкнутый контур) |
нм | ||||||
Повторяемость
|
10 |
нм
|
||||||
Ошибка линеарности | 0,035 | % | ||||||
Жесткость | 2 | Н/мкм | ||||||
Резонансная частота |
420 (без нагрузки)
130 (нагрузка 2,5 кг) |
Гц
|
||||||
Максимальная нагрузка |
3,5
|
кг | ||||||
Тип датчика
|
Емкостной | |||||||
Температурный диапазон
|
15 – 40 |
°C |
||||||
Вес |
1
|
кг
|
||||||
Максимальное управляющее напряжение
|
150 |
В
|
||||||
*.NM - немагнитное исполнение. **.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). |