ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.S100/200.xyRz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S100/200.xyRz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Carrier.S100/200.xyRz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм.
Перемещение по оси X, Y 100 / 200 мкм.
Перемещение по θz 1 / 2 мрад.
Режим обратной связи с разрешением до 1 / 2 нм.
Крепление подходит для Carrier.L7550.XY.
Варианты исполнения: стандартное: .HV; .UHV; .NM; .HV.NM; .UHV.NM.
Совместимость с Carrier.L7550.XY и контроллером Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезопозиционеры Carrier.S100/200.xyRz.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования до 0,2 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Модель	Carrier.S100.XYRz.C	Carrier.S200.XYRz.C
Исполнение
Стандартное¹	✔		✔
.HV²	✔		✔
.UHV³	✔		✔
.NM⁴	✔		✔
.HV.NM⁵	✔		✔
.UHV.NM⁶	✔		✔
Оси перемещения	X, Y, θz
Размеры (Ш х Д х В)	150 × 150 × 30			мм
Материал корпуса	Стандартное исполнение: сталь, алюминиевый сплав .HV: сталь, алюминиевый сплав .UHV: сталь, алюминиевый сплав .NM: титан, алюминиевый сплав
Материал корпуса
Масса	Стандартное исполнение: 1,4 .HV: 1,4 .UHV: 1,4 .NM: 1,3			кг
Перемещение (X, Y)	100 × 100		200 × 200	мкм
Перемещение (θz)	1		2	мрад
Апертура	66 х 66			мм
Разрешение по X, Y (с обратной связью / без обратной связи)	1 / 0,3		2 / 0,5	нм
Разрешение по θz (с обратной связью / без обратной связи)	0,3 / 0,1		0,5 / 0,2	мкрад
Повторяемость по X, Y	5			нм
Повторяемость по θz	0,2			мкрад
Линейность по X, Y	0,02			%
Линейность по θz	0,1			%
Жесткость	2,8		3,5	Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки/нагрузка 2,5 кг)	450 / 150		500 / 180	Гц
Максимальная нагрузка	5			кг
Тип датчика	Емкостной

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума 2E-11 мбар.
4) .NM - немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

Carrier.S100/200.xyRz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики 855.5(Kб)

Модель	Описание
Carrier.S100.XYRz.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S100.XYRz.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для высокого вакуума.
Carrier.S100.XYRz.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума.
Carrier.S100.XYRz.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S100.XYRz.C.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение для высокого вакуума.
Carrier.S100.XYRz.C.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz 1 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума.
Carrier.S200.XYRz.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 200 × 200 мкм. Диапазон перемещения θz 2 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S200.XYRz.C.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 200 × 200 мкм. Диапазон перемещения θz 2 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для высокого вакуума.
Carrier.S200.XYRz.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 200 × 200 мкм. Диапазон перемещения θz 2 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума.
Carrier.S200.XYRz.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 200 × 200 мкм. Диапазон перемещения θz 2 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S200.XYRz.C.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 200 × 200 мкм. Диапазон перемещения θz 2 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение для высокого вакуума.
Carrier.S200.XYRz.C.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по осям X, Y 200 × 200 мкм. Диапазон перемещения θz 2 мрад. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума.