Carrier.HS100.xyRz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Исполнение	Стандартное	.NM*	.UHV**
Оси перемещения	Z, Y & θz
Размеры (Ш х Д х В)	150 х 150 х 30			мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав Нержавеющая сталь
Материал корпуса	Алюминиевый сплав Нержавеющая сталь
Перемещение (Z)	100 х 100			мкм
Перемещение (θ_x & θ_Y)	1			мрад
Эффективный размер сквозного отверстия	66 х 66			мм
Разрешение	0,2 (разомкнутый контур) 1 (замкнутый контур)			нм
Повторяемость	10			нм
Ошибка линеарности	0,035			%
Жесткость	2			Н/мкм
Резонансная частота	420 (без нагрузки) 130 (нагрузка 2,5 кг)			Гц
Максимальная нагрузка	3,5			кг
Тип датчика	Емкостной
Температурный диапазон	15 – 40			°C
Вес	1			кг
Максимальное управляющее напряжение	150			В
.NM - немагнитное исполнение. *.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

Модель	Описание
Carrier.HS100.xyRz.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размер платформы: 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по оси X, Y: 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz: 1 мрад. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм.
Carrier.HS100.xyRz.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размер платформы: 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по оси X, Y: 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz: 1 мрад. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.HS100.xyRz.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размер платформы: 150 × 150 × 30 мм. Диапазон перемещения по оси X, Y: 100 × 100 мкм. Диапазон перемещения θz: 1 мрад. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).