Carrier.HS100.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Исполнение	Стандартное	.UHV*	.NM**
Оси перемещения	Z
Размеры (Ш х Д х В)	150 х 150 х 30			мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав
Материал корпуса	Нержавеющая сталь
Перемещение	100			мкм
Эффективный размер сквозного отверстия	60 х 60			мм
Масса	1			кг
Температурный диапазон	15 – 40			°C
Разрешение	1 (замкнутый контур) 0,3 (разомкнутый контур)			нм
Повторяемость	10			нм
Ошибка линеаризации	0,035			%
Жесткость	2,5			Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)	500			Гц
Резонансная частота (2,5 кг нагрузки)	200			Гц
Максимальная нагрузка	5			кг
Тип встроенного датчика (замкнутый контур)	Емкостной
Максимальное управляющее напряжение	150			В
.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). *.NM - немагнитное исполнение.

Модель	Описание
Carrier.HS100.Z.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм.
Carrier.HS100.Z.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.HS100.Z.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 150 × 150 × 30 мм. Нагрузка до 5 кг. Перемещение до 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).