ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.HS100.zTxTy.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
Carrier.HS100.zTxTy.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
- Совместим со сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом.
- Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
- Материал корпуса: алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
- Замкнутый / разомкнутый контур управления.
- Разрешение по Z для замкнутого контура: 1 нм.
- Крепление подходит для Carrier.L7550.XY.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
| Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Исполнение
|
Стандартное |
.UHV* |
|
|||||
|
Оси перемещения
|
Z, θx & θY |
|||||||
|
Размеры (Ш х Д х В)
|
150 х 150 х 30 | мм | ||||||
| Материал корпуса |
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь |
|||||||
|
Перемещение (Z)
|
100 |
мкм
|
||||||
|
Перемещение (θx & θY)
|
1 х 1 | мрад | ||||||
| Эффективный размер сквозного отверстия | 60 х 60 | мм | ||||||
|
Разрешение (Z)
|
0,5 (разомкнутый контур) 1 (замкнутый контур) |
нм | ||||||
|
Разрешение (θ) |
0,04 (разомкнутый контур)
0,05 (замкнутый контур) |
мкрад
|
||||||
|
Повторяемость (Z)
|
10 |
нм
|
||||||
|
Повторяемость (θ) |
0,1 | мкрад | ||||||
| Ошибка линеарности (Z) | 0,035 | % | ||||||
|
Ошибка линеарности (θ) |
0,15 | % | ||||||
| Жесткость | 2 | Н/мкм | ||||||
|
Резонансная частота (Z) |
480 (без нагрузки)
160 (нагрузка 2,5 кг) |
Гц
|
||||||
|
Резонансная частота (θ) |
500 (без нагрузки)
150 (нагрузка 2,5 кг) |
Гц
|
||||||
| Максимальная нагрузка |
2,5
|
кг | ||||||
|
Тип датчика
|
Емкостной | |||||||
|
Температурный диапазон
|
15 – 40 |
°C |
||||||
| Вес |
1
|
кг
|
||||||
|
Максимальное управляющее напряжение
|
150 |
В
|
||||||
|
*.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). |
||||||||
Мой заказ