Carrier.S200.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

  • Совместим со сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом и имеет немагнитное исполнение.
  • Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
  • Материал корпуса: алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
  • Замкнутый контур управления.
  • Разрешение 2 нм для замкнутого контура.
  • Крепление подходит для Carrier.L7550.XY.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 

Параметр Значение   Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное .NM* .UHV**
Оси перемещения
Carrier.S200.XY: X, Y
Carrier.S200.XYZ: X, Y, Z
 
Размеры (Ш х Д х В)
182 х 150 х 15 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь
 
Перемещение
Carrier.S200.XY: 200 х 200
Carrier.S200.XYZ: 200 х 200 х 200
мкм
Эффективный размер сквозного отверстия 77 х 65 мм
Разрешение (замкнутый контур)
2
нм
Повторяемость
15
нм
Ошибка линеарности 0,1 %
Резонансная частота
X: 200
Y: 150
Гц
Максимальная нагрузка
500
г
Тип датчика
Емкостной  
Температурный диапазон
15 – 40
°C
Вес
1
кг
Максимальное управляющее напряжение
150
В
*.NM - немагнитное исполнение.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

 
Модель Описание
Carrier.S200.xy.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y: 200 × 200 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 2 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S200.xy.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y: 200 × 200 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S200.xy.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y: 200 × 200 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).
Carrier.S200.xyz.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z: 200 × 200 × 200 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 2 нм. Стандартное исполнение.
Carrier.S200.xyz.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z: 200 × 200 × 200 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 2 нм. Немагнитное исполнение.
Carrier.S200.xyz.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 182 × 150 × 15 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение X, Y, Z: 200 × 200 × 200 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).
Назад к разделу

Мой заказ