ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиS100.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
S100.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
- Совместим со сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом.
- Диапазон рабочих температур от -20 до 80 °C.
- Материал корпуса: алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
- Замкнутый / разомкнутый контур управления.
- Разрешение 1 нм для замкнутого контура.
- Разрешение 0,2 нм для разомкнутого контура.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Исполнение
|
Стандартное | .NM* | .UHV** |
|
||||
Оси перемещения
|
S100.XY: X, Y S100.XYZ: X, Y, Z |
|||||||
Размеры (Ш х Д х В)
|
55 х 55 х 40 | мм | ||||||
Материал корпуса |
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь |
|||||||
Перемещение
|
S100.XY: 100 х 100 S100.XYZ: 100 х 100 х 100 |
мкм
|
||||||
Разрешение
|
0,2 (разомкнутый контур) 1 (замкнутый контур) |
нм | ||||||
Повторяемость
|
10 |
нм
|
||||||
Тангаж / Рыскание
|
5 / 10 | мкрад | ||||||
Ошибка линеарности | 0,1 | % | ||||||
Резонансная частота |
X, Y: 400, 350
Z: 300 |
Гц
|
||||||
Жесткость | 0,5 | Н/мкм | ||||||
Тип датчика
|
Емкостной | |||||||
Температурный диапазон
|
-20 – 80 |
°C |
||||||
Вес |
500
|
г
|
||||||
Максимальное управляющее напряжение
|
150 |
В
|
||||||
Длина кабеля |
20 (SMA разъем)
|
см
|
||||||
*.NM - немагнитное исполнение. **.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). |