S100.xy/xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

  • Совместим со сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом.
  • Диапазон рабочих температур от -20 до 80 °C.
  • Материал корпуса: алюминиевый сплав, нержавеющая сталь
  • Замкнутый / разомкнутый контур управления.
  • Разрешение 1 нм для замкнутого контура.
  • Разрешение 0,2 нм для разомкнутого контура.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 

Параметр Значение   Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное .NM* .UHV**
Оси перемещения
S100.XY: X, Y
S100.XYZ: X, Y, Z
 
Размеры (Ш х Д х В)
55 х 55 х 40 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав
Нержавеющая сталь
 
Перемещение
S100.XY: 100 х 100
S100.XYZ: 100 х 100 х 100
мкм
Разрешение
0,2 (разомкнутый контур)
1 (замкнутый контур)
нм
Повторяемость
10
нм
Тангаж / Рыскание
5 / 10 мкрад
Ошибка линеарности 0,1 %
Резонансная частота
X, Y: 400, 350
Z: 300
Гц
Жесткость 0,5 Н/мкм
Тип датчика
Емкостной  
Температурный диапазон
-20 – 80
°C
Вес
500
г
Максимальное управляющее напряжение
150
В
Длина кабеля
20 (SMA разъем)
см
*.NM - немагнитное исполнение.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

 
Модель Описание
S100.xy.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y: 100 × 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм.
S100.xy.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y: 100 × 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
S100.xy.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y: 100 × 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).
S100.xyz.C Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y, Z: 100 × 100 × 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм.
S100.xyz.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y, Z: 100 × 100 × 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Немагнитное исполнение.
S100.xyz.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 55 × 55 × 40 мм. Перемещение X, Y, Z: 100 × 100 × 100 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).
Назад к разделу

Мой заказ