S100/300/500.x.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

S100/300/500.x.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.
  • Размеры платформы 50 × 50 × 17 / 70 × 70 × 17 мм.
  • Перемещение по оси Х 100 / 300 / 500 мкм.
  • Режим обратной связи с разрешением до 1,5 нм.
  • Нагрузка до 500 г.
  • Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
  • Варианты исполнение: немагнитное (.NM), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV), для высокого вакуума до 1E-7 мбар (.HV).
  • Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезопозиционеры S100/300/500.x.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение   Ед. Измерения
Модель S100.x.C
S300.x.C S500.x.C  
Исполнение
.NM*, .HV**, .UHV***  
Оси перемещения
X  
Размеры (Ш х Д х В)
50 × 50 × 17 70 × 70 × 17 мм
Материал корпуса
Алюминиевый сплав &
Нержавеющая сталь    
 
Перемещение (режим обратной связи)
100
300 500
мкм
Перемещение (без обратной связи) 120 350 600 мкм
Разрешение (с обратной связью) 0,5 0,9 1,5 нм
Разрешение (без обратной связи)
0,2 0,5 0,7 нм
Тангаж / рыскание ± 3 ± 3 ± 6 мкрад
Резонансная частота 700 370 200 Гц
Масса 160 200 240 г
Температурный диапазон
15 - 40
°C
Линейность
0,03 %
Максимальная нагрузка 500 г
Тип встроенного датчика (режим обратной связи)
Емкостной
 
Максимальное управляющее напряжение
150
В
Длина кабеля
1 (D-Sub 3W3 разъемы)
м
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
S100.x.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Немагнитное исполнение.
S100.x.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума (1Е-7 мбар).
S100.x.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
S300.x.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Немагнитное исполнение.
S300.x.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Исполнение для высокого вакуума (1Е-7 мбар).
S300.x.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
S500.x.C.NM Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Немагнитное исполнение.
S500.x.C.HV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Исполнение для высокого вакуума (1Е-7 мбар).
S500.x.C.UHV Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ