Пьезопозиционеры S100/200/300/500.x.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Стандартное, .HV, .UHV: 220 г (S500: 250 г)
.NM, .HV.NM, .UHV.NM: 200 г (S500: 230 г)
г
Перемещение (режим обратной связи)
100
200
300
500
мкм
Разрешение (с обратной связью)
0,5
0,6
0,9
1,5
нм
Разрешение (без обратной связи)
0,2
0,3
0,5
0,7
нм
Повторяемость
5
5
5
6
нм
Линейность
0,02
0,02
0,02
0,02
%
Жесткость
1,0
0,65
0,25
0,16
Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки)
750
590
310
210
Гц
Резонансная частота (нагрузка 0,5 кг)
200
162
100
80
Максимальная нагрузка
500
г
Тип датчика
Емкостной
Максимальное управляющее напряжение
150
В
Длина кабеля / Разъем
1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2)
Для .UHV: SMA
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях. 2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. 3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. 4) .NM - полностью немагнитное исполнение. 5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью. 6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Стандартное исполнение.
S100.x.C.HV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S100.x.C.UHV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S100.x.C.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S100.x.C.HV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S100.x.C.UHV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 100 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S200.x.C
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Стандартное исполнение.
S200.x.C.HV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S200.x.C.UHV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S200.x.C.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S200.x.C.HV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S200.x.C.UHV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 200 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,6 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S300.x.C
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Стандартное исполнение.
S300.x.C.HV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S300.x.C.UHV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S300.x.C.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S300.x.C.HV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S300.x.C.UHV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 55 × 55 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,9 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S500.x.C
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Стандартное исполнение.
S500.x.C.HV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S500.x.C.UHV
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
S500.x.C.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
S500.x.C.HV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
S500.x.C.UHV.NM
Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 70 × 70 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 500 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 1,5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
