S300.x.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

Параметр	Значение				Ед. Измерения
Исполнение	Стандартное	.UHV*	.NM**
Оси перемещения	X
Размеры (Ш х Д х В)	50 х 50 х 14				мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав
Материал корпуса	Нержавеющая сталь			Чистый титан
Перемещение	300 (разомкнутый контур) 250 (замкнутый контур)				мкм
Масса	200				г
Температурный диапазон	-20 — 80				°C
Разрешение	3 (замкнутый контур) 0,4 (разомкнутый контур)				нм
Повторяемость	2				нм
Ошибка линеаризации	0,1				%
Резонансная частота	350				Гц
Максимальная нагрузка	500				г
Тип встроенного датчика (замкнутый контур)	Емкостной
Максимальное управляющее напряжение	150				В
Длина кабеля	1 (коаксиальный провод)				м
.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). *.NM - немагнитное исполнение.

Модель	Описание
S300.x.C	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 3 нм.
S300.x.C.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 3 нм. Немагнитное исполнение.
S300.x.C.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 50 × 50 × 17 мм. Нагрузка до 500 г. Перемещение до 300 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 3 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).