ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиSH30.xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

SH30.xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

SH30.xyz.C - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 160 × 160 × 35 мм.
Перемещение X, Y, Z 30 × 30 × 15 мкм.
Режим обратной связи с разрешением < 0,3 нм.
Нагрузка до 10 кг.
Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
Варианты исполнения: для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар (.UHV).
Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезопозиционеры SH30.xyz.C поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования до 0,1 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр	Значение	Ед. Измерения
Исполнение	.HV, .UHV*
Оси перемещения	X, Y, Z
Размеры (Ш х Д х В)	160 х 160 х 35	мм
Материал корпуса	Нержавеющая сталь
Материал корпуса	Нержавеющая сталь
Перемещение (с обратной связью)	30 х 30 х 15	мкм
Разрешение (без обратной связи)	0,1	нм
Разрешение(с обратной связью)	0,3	нм
Тангаж/рыскание/крен	20 / 20 / 50	мкрад
Резонансная частота (без нагрузки)	500	Гц
Рабочая температура	15 - 40	°C
Максимальная нагрузка	10	кг
Вес	2	кг
Тип датчика	Емкостной
Максимальное управляющее напряжение	150	В
Тип кабеля	D-Sub 3W3

*.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

SH30.xyz.C - сканирующие пьезоэлектрические столики 717.43(Kб)

Модель	Описание
SH30.xyz.C	Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Стандартное исполнение с емкостным датчиком.
SH30.xyz.C.HV	Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Исполнение с емкостным датчиком для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
SH30.xyz.C.UHV	Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Исполнение с емкостным датчиком для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.