ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиSH30.XYZ - сканирующие пьезоэлектрические столики

SH30.XYZ - сканирующие пьезоэлектрические столики

SH30.XYZ - серия сканирующих пьезоэлектрических столиков.

Размеры платформы 160 × 160 × 34,5 мм.
Перемещение X, Y, Z 30 × 30 × 15 мкм.
Режим обратной связи с разрешением до 0,3 нм.
Нагрузка до 10 кг.
Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
Варианты исполнения: стандартное, .HV, .UHV, .NM, .HV.NM, .UHV.NM.
Совместимость с контроллером Archimedes.Nx.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезопозиционеры SH30.XYZ поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать большей точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр	Значение	Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное¹	✔
.HV²	✔
.UHV³	✔
.NM⁴	✔
.HV.NM⁵	✔
.UHV.NM⁶	✔
Оси перемещения	X, Y, Z
Размеры (Ш х Д х В)	160 × 160 × 34,5	мм
Материал корпуса (стандартное исп., .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (стандартное исп., .HV, .UHV)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (немагнитное исп.)	Алюминиевый сплав, Титан
Масса (стандартное исп., .HV, .UHV)	4,5	кг
Масса (немагнитное исп.)	4,2	кг
Перемещение (режим обратной связи)	30 × 30 × 15	мкм
Разрешение (с обратной связью)	0,3	нм
Разрешение (без обратной связи)	0,2	нм
Повторяемость	4	нм
Линейность	0,03	%
Жесткость	25	Н/мкм
Резонансная частота (без нагрузки) X / Y / Z	760 / 760 / 830	Гц
Резонансная частота (нагрузка 10 кг) X / Y / Z	220 / 220 / 340	Гц
Максимальная нагрузка	10	кг
Тип датчика	Емкостной
Длина кабеля / Разъем	1 м, экранированный кабель (D-Sub 7W2) Для .UHV: SMA

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

SH30.XYZ - сканирующие пьезоэлектрические столики 216.29(Kб)

Модель	Описание
SH30.XYZ	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 34,5 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение до 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Стандартное исполнение.
SH30.XYZ.HV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 34,5 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение до 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
SH30.XYZ.UHV	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 34,5 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение до 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
SH30.XYZ.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 34,5 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение до 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Полностью немагнитное исполнение.
SH30.XYZ.HV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 34,5 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение до 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
SH30.XYZ.UHV.NM	Сканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы 160 × 160 × 34,5 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение до 30 × 30 × 15 мкм. Режим обратной связи, определение положения с разрешением до 0,3 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.