ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиSH30.xyz.O/.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
SH30.xyz.O/.C - сканирующие пьезоэлектрические столики
- Совместим с высоким (1Е-7 мбар) и сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом.
- Нагрузка до 10 кг.
- Диапазон рабочих температур от -20 до 80 °C.
- Замкнутый / разомкнутый контур управления.
- Разрешение 0,3 нм для замкнутого контура.
- Разрешение 0,1 нм для разомкнутого контура.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Исполнение
|
Стандартное | .HV* | .UHV** | .O*** | .C**** | |||
Оси перемещения
|
X, Y, Z | |||||||
Размеры (Ш х Д х В)
|
160 х 160 х 35 | мм | ||||||
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь
|
|||||||
Перемещение
|
30 х 30 х 15 |
мкм
|
||||||
Разрешение
|
0,1 (разомкнутый контур) 0,3 (замкнутый контур) |
нм | ||||||
Повторяемость
|
3 |
нм
|
||||||
Резонансная частота (без нагрузки) |
500
|
Гц
|
||||||
Температурный диапазон
|
-20 – 80 |
°C |
||||||
Максимальная нагрузка | 10 | кг | ||||||
Вес |
4
|
кг
|
||||||
Максимальное управляющее напряжение
|
150 |
В
|
||||||
Длина кабеля |
20 (SMA разъем)
|
см
|
||||||
*.HV - исполнение для высокого вакуума (1E-7 мбар). **.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). ***.O - разомкнутый контур управления. ****.С - емкостной датчик. |