SH30.xyz.O/.C - сканирующие пьезоэлектрические столики

  • Совместим с высоким (1Е-7 мбар) и сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом.
  • Нагрузка до 10 кг.
  • Диапазон рабочих температур от -20 до 80 °C.
  • Замкнутый / разомкнутый контур управления.
  • Разрешение 0,3 нм для замкнутого контура.
  • Разрешение 0,1 нм для разомкнутого контура.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 

Параметр         Значение             Ед. Измерения  
Исполнение
Стандартное .HV* .UHV**  .O***  .C****  
Оси перемещения
X, Y, Z  
Размеры (Ш х Д х В)
160 х 160 х 35 мм
Материал корпуса
Нержавеющая сталь
 
Перемещение
30 х 30 х 15
мкм
Разрешение
0,1 (разомкнутый контур)
0,3 (замкнутый контур)
нм
Повторяемость
3
нм
Резонансная частота (без нагрузки)
500
Гц
Температурный диапазон
-20 – 80
°C
Максимальная нагрузка 10 кг
Вес
4
кг
Максимальное управляющее напряжение
150
В
Длина кабеля
20 (SMA разъем)
см
*.HV - исполнение для высокого вакуума (1E-7 мбар).
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар).
***.O - разомкнутый контур управления.
****.С - емкостной датчик.

 
Модель Описание
SH30.xyz.C Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z: 30 × 30 × 15 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 0,3 нм. С емкостным датчиком.
SH30.xyz.C.HV Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z: 30 × 30 × 15 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 0,3 нм. С емкостным датчиком. Исполнение для высокого вакуума (1Е-7 мбар).
SH30.xyz.C.UHV Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z: 30 × 30 × 15 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 0,3 нм. С емкостным датчиком. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).
SH30.xyz.O Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z: 30 × 30 × 15 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 0,3 нм. С разомкнутым контуром управления.
SH30.xyz.O.HV Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z: 30 × 30 × 15 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 0,3 нм. С разомкнутым контуром управления. С емкостным датчиком. Исполнение для высокого вакуума (1Е-7 мбар).
SH30.xyz.O.UHV Cканирующий пьезоэлектрический столик. Размеры платформы: 160 × 160 × 35 мм. Нагрузка до 10 кг. Перемещение X, Y, Z: 30 × 30 × 15 мкм. Замкнутый контур управления, определение положения с разрешением до 0,3 нм. С разомкнутым контуром управления. Исполнение для сверхвысокого вакуума (2Е-11 мбар).
Назад к разделу

Мой заказ