SPL-G-355 - УФ лазер для фотолитографии с высокостабильным излучением

SPL-G-355 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии.

Длина волны: 355 нм.
Выходная мощность: ≥ 500 мВт.
Ширина спектральной линии ≤ 50 ГГц.
Высокая стабильность.
Качество пучка: ≤ 1,3.

SPL-G-355 – одночастотный лазер на основе волоконного усилителя с нелинейным преобразованием частоты обеспечивает стабильное УФ-излучение мощностью до 500 мВт с превосходным качеством пучка и высокой надежностью.

Особенности:

Высокая выходная мощность.
Стабильность мощности: ≤ 1,5 %.
Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.
Тип охлаждения: водяной.
Низкий уровень шума.

Параметр	Значение	Ед. измерения
Длина волны излучения	355 ± 0,05	нм
Режим работы	непрерывный
Мощность выходного излучения	≥ 500	мВт
Регулировка мощности	10 - 100%	мВт
Профиль пучка	TEM00
Ширина спектральной линии	50 ± 6	ГГц
Отклонение пучка по горизонтали/вертикали	± ≤ 1
Стабильность наведения (RMS при 20-26℃)	≤ 15	мкрад/℃
Отклонение светового пятна	≤ 5	мрад
Эллиптичность	1 ± 0,1	°
Угол расхождения	0,6	мрад
Стабильность угла расхождения пучка	≤ 10 для воздуха	мкрад/℃
Относительный уровень шума	0,3 (10 Гц ~ 2 МГц)	%
Стабильность мощности (RMS @30 мин)	≤ 1,5	%
Степень поляризации	≥ 100:1
Направление поляризации	Линейная
Суммарное время работы	10000	ч
Время прогрева	≤ 10	мин
Время переключения кристалла	≤ 20	мин
Метод охлаждения	Водяное

Фотолитография.
Микроэлектроника.
Диагностика пластин.
Научные исследования.
Ртутное охлаждение.

SPL-G-355 - УФ лазер для фотолитографии с высокостабильным излучением 578.64(Kб)

Модель	Описание
SPL-G-355	УФ лазер для фотолитографии с высокостабильным излучением. Длина волны 355 нм. Мощность ≥ 500 мВт.

Назад к разделу