ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-FHG-488 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 488 нм
SPL-FHG-488 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 488 нм
SPL-FHG-488 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии.
- Длина волны 488 нм.
- Выходная мощность до 0,05 / 0,4 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,1.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
SPL-FHG-488 - УФ лазеры с одночастотной генерацией на 488 нм, основанные на усилении в тулиевом волокне (Tm-doped) с низким уровнем шума и технологии четырехкратного умножения частоты.
Особенности:
- Узкая спектральная линия.
- Низкий уровень шума.
- Высокая выходная мощность.
- Стабильность мощности ≤ 0,75 %.
- Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Длина волны | 488 | нм | |||
Рабочий режим | CW | ||||
Выходная мощность |
≥ 0,05 |
≥ 0,4 | Вт | ||
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) |
≤ 40 |
кГц | |||
Диапазон тепловой настройки | ≥ 0,25 | нм | |||
Стабильность направления пучка | ≤ 10 | мрад | |||
RIN | ≤ 0,16 | % | |||
Качество пучка М2 |
≤ 1,1 |
|
|||
Диаметр пучка | 0,7 - 1 | мм | |||
PER |
линейный, ≥ 20 |
дБ | |||
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
|
|||
Охлаждение | воздушное / водяное |
|
|||
Источник напряжения
|
100 - 240, AC | В | |||
Интерфейс
|
RS422 |
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Атомная физика.
- Спектроскопия.