ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-FHG-488 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 488 нм
SPL-FHG-488 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 488 нм
- Длина волны 488 нм.
- Выходная мощность ≥ 0,8 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Длина волны | 488 | нм | |||
Рабочий режим | CW | ||||
Выходная мощность |
≥ 0,8 |
Вт | |||
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) |
≤ 40 |
кГц | |||
Диапазон тепловой настройки | ≥ 0,25 | нм | |||
Полоса пропускания PZT | ≥ 5 | кГц | |||
Диапазон перестройки PZT | ≥ 12 | ГГц | |||
Полоса перестройки опции AOM+VCO | ≥ 500 | кГц | |||
Диапазон перестройки AOM+VCO ±, МГц | ≥ 5 | МГц | |||
Качество пучка М2 |
≤ 1,3 |
|
|||
Диаметр пучка | ~ 1 | мм | |||
PER |
линейный, ≥ 20 |
дБ | |||
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
|
|||
Охлаждение | водяной чиллер |
|
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.