ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-FHG-248 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 248 нм
SPL-FHG-248 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 248 нм
- Длина волны 248 нм.
- Выходная мощность ≥ 10 мВт.
- Ширина спектральной линии ≤ 100 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Длина волны | 248 | нм | |||
Рабочий режим | CW | ||||
Выходная мощность |
≥ 10 |
мВт | |||
Ширина спектральной линии |
≤ 100 |
кГц | |||
Качество пучка М2 |
≤ 1,3 |
|
|||
Диаметр пучка | ~ 1 | мм | |||
PER |
линейный, ≥ 20 |
дБ | |||
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
|
|||
Охлаждение | воздушное |
|
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.