ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-FHG-248 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 248 нм
SPL-FHG-248 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 248 нм
SPL-FHG-248 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии.
- Длина волны 248 нм.
- Выходная мощность ≥ 10 / 50 / 100 мВт.
- Ширина спектральной линии ≤ 80 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,5.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
SPL-FHG-248 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии сочетает в себе усилитель на иттербиевом волокне с низким уровнем шума и технологию четырехкратного умножения частоты для генерации узкополосного излучения в диапазоне 220-248 нм.
Особенности:
- Узкая спектральная линия.
- Низкий уровень шума.
- Высокая выходная мощность.
- Стабильность мощности ≤ 1 %.
- Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.
| Параметр |
Значение |
Ед.измерения | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны | 248 | нм | ||||
| Рабочий режим | CW | |||||
| Выходная мощность |
≥ 10 |
≥ 50 | ≥ 100 | мВт | ||
| Ширина спектральной линии |
≤ 80 |
кГц | ||||
| Качество пучка М2 |
≤ 1,5 |
|
||||
| Диаметр пучка | ~ 1 | мм | ||||
|
PER |
линейный, ≥ 20 |
дБ | ||||
|
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
|
||||
| Охлаждение | воздушное |
|
||||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Научные исследования.
- Ртутное охлаждение.
Мой заказ