SPL-FHG-248 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 248 нм

SPL-FHG-248 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии. 
  • Длина волны 248 нм. 
  • Выходная мощность ≥ 10 / 50 / 100 мВт. 
  • Ширина спектральной линии ≤ 80 кГц. 
  • Качество пучка ≤ 1,5. 
  • Высокая стабильность.
Производитель:  FEX-LASER

SPL-FHG-248 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии сочетает в себе усилитель на иттербиевом волокне с низким уровнем шума и технологию четырехкратного умножения частоты для генерации узкополосного излучения в диапазоне 220-248 нм.

Особенности:

  • Узкая спектральная линия.
  • Низкий уровень шума.
  • Высокая выходная мощность.
  • Стабильность мощности ≤ 1 %.
  • Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.

Параметр Значение
Ед.измерения
Длина волны 248 нм
Рабочий режим  CW  
Выходная мощность   ≥ 10
 ≥ 50 ≥ 100 мВт
Ширина спектральной линии ≤ 80
кГц
Качество пучка М2 ≤ 1,5

Диаметр пучка ~ 1  мм
PER
линейный, ≥ 20
дБ
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч)
≤ 1

Охлаждение воздушное

Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.

  • Фотолитография.
  • Микроэлектроника.
  • Диагностика пластин.
  • Научные исследования.
  • Ртутное охлаждение.

Модель Описание
SPL-FHG-248-10 Одночастотный УФ лазер для фотолитографии. Длина волны 248 нм. Мощность ≥ 10 мВт.
SPL-FHG-248-50 Одночастотный УФ лазер для фотолитографии. Длина волны 248 нм. Мощность ≥ 50 мВт.
SPL-FHG-248-100 Одночастотный УФ лазер для фотолитографии. Длина волны 248 нм. Мощность ≥ 100 мВт.
Назад к разделу

Мой заказ