ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-IFHG-355 - одночастотные УФ лазеры для фотолитографии на 355 нм
SPL-IFHG-355 - одночастотные УФ лазеры для фотолитографии на 355 нм
- Длина волны 355 нм.
- Выходная мощность до 4 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,2.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
SPL-IFHG-355 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 355 нм сочетает в себе одночастотный лазер, технологию волоконного лазерного усиления и нелинейного преобразования частоты для генерации узкополосного УФ излучения.
Особенности:
- Узкая спектральная линия.
- Линейная поляризация.
- Высокая выходная мощность (до 4 Вт).
- Высокая частотная стабильность.
- Длительный срок службы.
- Отличное качество пучка.
- Устойчивость к внешним воздействиям.
| Параметр | Значение | Ед.измерения | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны | 355 | нм | ||||
| Ширина спектральной линии | ≤ 40 | кГц | ||||
| Рабочий режим | Непрерывный (CW) | |||||
| Выходная мощность | ≥ 100 | ≥ 500 | ≥ 2000 | ≥ 4000 | мВт | |
| Диаметр пучка | 1 ± 0,15 | мм | ||||
| Расходимость пучка (полный угол) | ≤ 1 | мрад | ||||
| Эллиптичность | 90 | % | ||||
| Стабильность направления @ 3ч | ≤ 50 | мкрад | ||||
| Качество пучка M² | ≤ 1,2 | |||||
| Поляризация | Линейная, вертикальная ±3°, ≥ 20 | дБ | ||||
| Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) | ≤ 0,75 | % | ||||
| Относительный шум | ≤ 0,2 | % | ||||
| Тип охлаждения | Водяное | |||||
| Время прогрева (холодный старт) | ≤ 2 | ч | ||||
| Время прогрева (из режима ожидания) | ≤ 15 | мин | ||||
| Габариты источника лазерного излучения | ≤ 380 x 580 x 146 | мм | ||||
| Габариты контроллера | ≤ 483 x 502 x 132 | мм | ||||
| Габариты системы охлаждения | ≤ 580 x 290 x 520 | мм | ||||
| Рабочая температура (без конденсации) | 15 - 35 | °C | ||||
| Источник питания | 100 - 240, AC, 50/60 Гц | В | ||||
| Потребляемая мощность | ≤ 200 | ≤ 240 | ≤ 300 | Вт | ||
| Интерфейс | RS422 | |||||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.
Мой заказ