ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-IFHG-355 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 355 нм
SPL-IFHG-355 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 355 нм
- Длина волны 355 нм.
- Выходная мощность до 4 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,2.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Длина волны | 355 | нм | ||||
Рабочий режим | CW | |||||
Выходная мощность | ≥ 0,5 | ≥ 2 | ≥ 4 | Вт | ||
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) | ≤ 40 | кГц | ||||
Качество пучка М2 | ≤ 1,2 |
|
||||
Диаметр пучка | ~ 1 | мм | ||||
PER | вертикальная ± 3°, ≥ 20 | дБ | ||||
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) | ≤ 0,75 | % | ||||
Охлаждение
|
водяное | |||||
Профиль пучка
|
TEM00 | |||||
Расходимость пучка
|
≤ 1 | мрад | ||||
Рабочая температура
|
15 -35 | ℃ | ||||
Источник питания
|
100-240, AC | В |
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.