ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-193 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 193 нм
SPL-RFHG-193 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 193 нм
- Длина волны 193 нм.
- Выходная мощность ≥ 2 мВт.
- Ширина спектральной линии ≤ 100 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,5.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
| Параметр | Значение | Ед.измерения |
|---|---|---|
| Длина волны | 193 | нм |
| Рабочий режим | CW | |
| Выходная мощность | ≥ 2 | мВт |
| Ширина спектральной линии | 100 | кГц |
| Качество пучка М2 | 1,3 | |
| PER | линейный, ≥ 20 | дБ |
| Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) | ≤ 1 | |
| Охлаждение | водяной чиллер |
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.
Мой заказ