ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-193 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 193 нм
SPL-RFHG-193 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 193 нм
- Длина волны 193 нм.
- Выходная мощность до 10 мВт.
- Ширина спектральной линии ≤ 100 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,5.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
| Параметр | Значение | Ед.измерения | |
|---|---|---|---|
| Длина волны | 193 | нм | |
| Рабочий режим | CW | ||
| Выходная мощность | ≥ 3 | ≥ 10 | мВт |
| Ширина спектральной линии | ≤ 100 | кГц | |
| Качество пучка М2 | ≤ 1,5 | ||
| PER | линейный, ≥ 20 | дБ | |
| Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) | ≤ 1 | % | |
| Профиль пучка | TEM00 | ||
| Диаметр пучка | 1 ± 0.1 | 1,1 ± 0.1 | мм |
| Расходимость пучка | ≤ 0,4 | мрад | |
|
Охлаждение
|
водяное | ||
|
Рабочая температура
|
15 -30 | ℃ | |
|
Источник питания
|
100V-240 В, AC | ||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.
Мой заказ