ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-220 - одночастотные УФ лазеры для фотолитографии на 220 нм
SPL-RFHG-220 - одночастотные УФ лазеры для фотолитографии на 220 нм
SPL-RFHG-220 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии.
- Длина волны 220 нм (можно выбрать из диапазона).
- Выходная мощность до 5 / 10 / 100 мВт.
- Ширина спектральной линии ≤ 80 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
SPL-RFHG-220 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии сочетает в себе усилитель на иттербиевом волокне с низким уровнем шума и технологию четырехкратного умножения частоты для генерации узкополосного излучения в диапазоне 205-220 нм.
Особенности:
- Узкая спектральная линия.
- Низкий уровень шума.
- Высокая выходная мощность.
- Стабильность мощности ≤ 0,75 %.
- Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.
| Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны | 220 | нм | |||||
| Рабочий режим | CW | ||||||
| Выходная мощность |
≥ 5 |
≥ 10 |
≥ 100 | мВт | |||
| Диапазон тепловой перестройки | 300, без скачков мод | ГГц | |||||
| Диаметр пучка | 0,7 - 1 | мм | |||||
| Ширина спектральной линии |
≤ 80 |
кГц | |||||
| PER | ≥ 20 | дБ | |||||
| Качество пучка М2 |
≤ 1,3 |
|
|||||
|
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 0,75 |
% | |||||
| Охлаждение | воздушное / водяное |
|
|||||
| Рабочая температура | 15 - 30 (Воздушное) | 15 - 35 (Водяное) | °C | ||||
| Источник питания | 100 - 240, AC, 50/60 Гц | В | |||||
|
Интерфейс
|
RS422 | ||||||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Научные исследования.
- Ртутное охлаждение.
Мой заказ