ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-266 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 266 нм
SPL-RFHG-266 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 266 нм
- Длина волны 266 нм.
- Выходная мощность до 1 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 50 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
| Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны | 266 | нм | |||
| Рабочий режим | CW | ||||
| Выходная мощность | ≥ 30 | ≥ 10 | ≥ 500 | ≥ 1000 | мВт |
|
Ширина спектральной линии (интегрирование 100 мкс) |
≤ 50 |
кГц | |||
| Качество пучка М2 |
≤ 1,3 |
|
|||
| Диаметр пучка | ~ 1 | мм | |||
|
PER |
линейный, вертикальная ±3°, ≥ 20 |
дБ | |||
|
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
|
|||
|
Профиль пучка
|
TEM00 | ||||
|
Расходимость пучка
|
0,5 | мрад | |||
|
Время прогрева (холодный старт)
|
≤ 2 | ч | |||
|
Время прогрева (режим ожидания)
|
≤ 15 | мин | |||
|
Источник питания
|
100-240 В, AC | ||||
|
Охлаждение
|
воздушное/водяное | водяное |
|
||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.
Мой заказ