SPL-RFHG-266 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 266 нм

  • Длина волны 266 нм. 
  • Выходная мощность ≥ 0,5 Вт. 
  • Ширина спектральной линии ≤ 50 кГц. 
  • Качество пучка ≤ 1,3. 
  • Высокая стабильность.
Производитель:  FEX-LASER
 

Параметр Значение
Ед.измерения
Длина волны 266 нм
Рабочий режим  CW  
Выходная мощность ≥ 0,5
Вт
Ширина линии (интегрирование 100 мкс)
≤ 50
кГц
Качество пучка М2 ≤ 1,3

Диаметр пучка ~ 1 мм
PER
линейный, ≥ 20
дБ
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч)
≤ 1

Охлаждение водяной чиллер

Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.

  • Фотолитография.
  • Микроэлектроника.
  • Диагностика пластин.
  • Генераторы изображений.

Модель Описание
SPL-RFHG-266 Одночастотный УФ лазер для фотолитографии. Длина волны 266 нм. Мощность ≥ 0,5 Вт.
Назад к разделу

Мой заказ