ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-297- одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 297 нм
SPL-RFHG-297- одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 297 нм
SPL-RFHG-297 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии.
- Длина волны 297 нм (можно выбрать из диапазона).
- Выходная мощность до 0,1 / 0,5 / 1 / 2 / 3 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 60 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
SPL-RFHG-297 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии сочетает в себе усилитель на иттербиевом волокне с низким уровнем шума и технологию четырехкратного умножения частоты для генерации узкополосного излучения в диапазоне 284-299 нм.
Особенности:
- Узкая спектральная линия.
- Низкий уровень шума.
- Высокая выходная мощность.
- Стабильность мощности ≤ 1 %.
- Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.
| Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны | 297 | нм | |||||||||
| Рабочий режим | CW | ||||||||||
| Выходная мощность |
0,1 |
0,5 | 1 | 2 | 3 | Вт | |||||
| Ширина спектральной линии |
≤ 60 |
кГц | |||||||||
| PER | ≥ 20 | дБ | |||||||||
| Качество пучка М2 |
≤ 1,3 |
|
|||||||||
|
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
% | |||||||||
| Охлаждение | воздушное / водяное |
|
|||||||||
| Источник питания | 100 - 240, AC, 50/60 Гц | В | |||||||||
| Рабочая температура | 15 - 30 | °C | |||||||||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Научные исследования.
- Ртутное охлаждение.
Мой заказ