ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-313 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 313 нм
SPL-RFHG-313 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 313 нм
- Длина волны: 313 - 325 нм.
- Выходная мощность : до 2 Вт.
- Ширина спектральной линии: ≤ 40 кГц.
- Качество пучка: ≤ 1,2.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
| Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны (регулируется) | 313 - 325 | нм | |||
| Рабочий режим | CW | ||||
| Выходная мощность |
≥ 0,3 |
≥ 1 | ≥ 2 | Вт | |
|
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) |
≤ 40 |
кГц | |||
| Качество пучка М2 |
≤ 1,2 |
|
|||
| Диаметр пучка | ~ 1 | мм | |||
|
PER |
линейный, вертикальный, ± 3°, ≥ 20 |
дБ | |||
|
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 0,75 |
% | |||
| Охлаждение | водяной чиллер |
|
|||
|
Профиль пучка
|
TEM00 | ||||
|
Расходимость пучка
|
≤ 0,6 | мрад | |||
|
Рабочая температура
|
15 - 35 | ℃ | |||
|
Источник питания
|
100-240, AC | В | |||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.
Мой заказ