ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-313 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 313 нм
SPL-RFHG-313 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 313 нм
- Длина волны 313 нм.
- Выходная мощность ≥ 1 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 50 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
| Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны | 313 | нм | |||
| Рабочий режим | CW | ||||
| Выходная мощность |
≥ 1 |
Вт | |||
|
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) |
≤ 50 |
кГц | |||
| Качество пучка М2 |
≤ 1,3 |
|
|||
| Диаметр пучка | ~ 1 | мм | |||
|
PER |
линейный, ≥ 20 |
дБ | |||
|
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
|
|||
| Охлаждение | водяной чиллер |
|
|||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Охлаждение ионов бериллия.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.
Мой заказ