ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-355 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 355 нм
SPL-RFHG-355 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 355 нм
- Длина волны 355 нм.
- Выходная мощность до 30 мВт.
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,1.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Длина волны | 355 | нм | |||
Рабочий режим | CW | ||||
Выходная мощность | ≥ 20 | ≥ 30 | мВт | ||
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) | ≤ 40 | кГц | |||
Качество пучка М2 | ≤ 1,1 |
|
|||
Диаметр пучка | ~ 1 | мм | |||
PER | линейная, вертикальная ± 3°, ≥ 20 | дБ | |||
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) | ≤ 0,75 | % | |||
Охлаждение
|
воздушное | водяное | |||
Профиль пучка
|
TEM00 | ||||
Расходимость пучка
|
≤ 0,7 | мрад | |||
Рабочая температура
|
15 -30 | 15 -35 | ℃ | ||
Источник питания
|
100-240, AC | В |
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.